中古 KLA / TENCOR Archer 10 XT #9276005 を販売中

KLA/TENCOR Archer 10 XTは、オンチップ欠陥検査のパフォーマンスを向上させるために開発されたハイエンドマスクおよびウェハ検査装置です。KLA ARCHER10XTは、より高いスループット率と欠陥検査の感度を向上させるように設計されています。TENCOR ARCHER 10XTは、フィールドエフェクトトランジスタスキャナ（FETS）を使用して、ナノメートルサイズの欠陥に対する感度を実現し、サブミクロン分解能でデジタル画像を取得します。高度な高速スキャナとイメージングテクノロジーモジュールを搭載しており、ウェーハの連続イメージングを可能にすると同時に、1時間あたり最大20ウェーハのスループットを向上させます。KLA Archer 10 XTは、半導体ウェーハのパターン認識を自動化する高度なマスクパターン認識機能を提供します。高度なアライメント技術により、マスクパターンとウエハイメージの正確なアライメントが保証され、欠陥を正確に識別できます。高性能CCDアレイと高度な光学系を利用して、画像取得を強化し、欠陥検出精度を向上させます。このユニットには、事前に定義された基準に基づいて欠陥を検出および分類するように設計された洗練された画像処理機も組み込まれています。この機能により、業界ガイドラインに従って欠陥検出と分類を改善できます。高度な信号処理技術を使用して、欠陥タイプを特徴付け、アクションに対する適切な応答を決定します。TENCOR ARCHER10XTはユーザーフレンドリーなインターフェイスを提供し、ファブ制御ソフトウェアなどのコンピュータ支援ツールと完全に互換性があります。さらに、このツールを親系列およびアップストリームシステムと統合することで、シームレスで自動化されたデータ収集と分析を可能にします。また、検査ジョブとデータロギングを一元管理し、高度なレポート機能とデータ管理機能を提供します。ARCHER 10XTは、従来の検査システムよりも優れた解像度、高速スループット、高感度を提供します。このモデルは、高性能で正確なフォルト検出を必要とする半導体メーカーにとって理想的な選択肢です。