中古 KLA / TENCOR 2435 Viper #9399301 を販売中

KLA/TENCOR 2435バイパーは、マスクやウェーハの検査用に特別に設計された自動光検査装置です。独自の3-in-1設計により、マスク、クロスウェーハ、フラットウェーハパターンを同時に検査することができます。このシステムは、2つのセンサーヘッドを使用して、ウェーハの上部と下部の両方をイメージすることができます。より強力なボトムヘッドは深い紫外線レーザーの露出を提供し、二次トップヘッドは反射性と色に焦点を当てます。このユニットの高速スキャンにより、8インチのウェーハを10秒以内に通過できます。統合されたデジタル高解像度イメージングマシン、3D再構築機能、ハイエンド画像管理システムにより、毎秒最大100万個のスポットをキャプチャし、サブミクロン範囲までの欠陥を検出することができます。これは、傷、毛穴、粒子などの最小の欠陥を検出することができる高度な画像処理アルゴリズムを備えています。さらに、ウェーハ表面のわずかな歪みを考慮した洗練されたウェーハアライメント機能を備えています。さらに、アセットオートメーションはさまざまな生産工程をサポートし、エラーを最小限に抑え、スループットを大幅に向上させます。これには、統合されたレシピ管理、パターンステッチ、ダイソート、サイコマップ調整ツールが含まれます。また、ウェハの完全性を損なうことなくオーバーレイ精度を測定できる、効率的な非破壊的オーバーレイ機能を備えています。このモデルは、ソフトウェアツールの最適化の広範なスイートによってサポートされています。欠陥レビューソフトウェア、ウェーハアダプタソフトウェア、アライメントソフトウェア、金型ソート、マッピングツールなどがあり、マスクやウェーハの自動生産に貢献しています。また、詳細な結果を提供し、製品の最適化と検証を支援する高度なデータ分析ツールも含まれています。結論として、KLA 2435 Viperは、優れた性能と信頼性を提供するように設計された高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。自動化された機能により、高容量、高精度の生産環境に適しています。最小限の欠陥を検出する機能と高度なソフトウェアツールを組み合わせた機能により、半導体および半導体パッケージング業界の厳しい品質要件を満たすことができます。