中古 CARL ZEISS AIMS 248 / MSM 100 #9275806 を販売中

CARL ZEISS AIMS 248/MSM 100は、マスクおよびウェーハ表面の高精度な自動顕微鏡画像を提供するように設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。マスクやウェーハの画像を高精度に取得することが可能で、Adaptive Scanning Technology （AST）やAOIなどの高度な画像処理機能を提供し、再現性と信頼性の高い画質を確保します。AIMS 248/MSM 100は、広視野、低光度条件、テレセントリックレンズ、および100倍の対物レンズを含む多数の光学部品で動作します。これにより、半導体表面の高速で効率的で信頼性の高いイメージングに必要な解像度が得られます。さらに、カラーエンコーダ、イメージステッチ、ピクセルレベルのパターン認識、自動化されたトリミングおよびフィルター表示など、さまざまな機能を備えています。これにより、プロセス制御やトラブルシューティングなどの要求の厳しいアプリケーションにおいて、比類のない画像の鮮明性と正確性を実現します。CARL ZEISS AIMS 248/MSM 100には、ウェハーマッピング機能が統合されており、検査エリアの効率的な選択と、マスクまたはウェハ内の誤った領域の特定を可能にします。また、高精度オートフォーカス顕微鏡取得機により、マスクやウェハ表面の高解像度デジタル画像とフロントライトコンタクト画像の両方を自動取得できます。さらに、そのアルゴリズムは、単純な欠陥から複雑なパターンや構造まで、ほぼすべてのパターンエラーを正確に検出することができます。これにより、非常に複雑な設計の検査に最適です。さらに、このツールは、X線、 FTIR、 SEM、 UV、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）、原子力顕微鏡（AFM）などの他の一般的なイメージングツールと連携するように設計されています。これにより、各テクノロジーから取得したデータを比較し、マスク/ウエハサーフェスをより包括的に表示することができます。最後に、この資産は完全に自動化されており、検査、測定、分析の間に自動化された操作を提供します。これにより、ヒューマンエラーの可能性を排除し、マスクとウェーハの迅速な検証と分析を可能にします。要するに、AIMS 248/MSM 100は、マスクおよびウェーハ表面の高精度イメージングを提供するように設計された高度なマスクおよびウェーハ検査モデルです。この装置は、カラーエンコーダ、ピクセルレベルのパターン認識、自動化されたクロップおよびフィルター表示、統合されたウェハマッピング機能など、精度を確保するためのさまざまな機能を備えています。さらに、他のイメージング技術と連携することができ、ユーザーは問題の表面のより包括的なビューを得ることができます。最後に、その自動化された操作は、人間のエラーの可能性を排除しながら、一貫した信頼できる結果を保証します。