中古 SVG / PERKIN ELMER / ASML M 761 #9072094 を販売中

SVG/PERKIN ELMER/ASML M 761は、マイクロエレクトロニクスデバイス製造用の正確で高精度なフォトマスクを作成するために使用されるマスクアライナーです。マスクアライメントテーブル、露光システム、光源、多軸制御ユニットなど、いくつかのモジュールとコンポーネントで構成された装置です。マスクアライメントテーブルは、X-YとサブミクロメータZ軸の両方の動きに正確に調整できるソリッドプラットフォームを提供するように設計されています。また、高品質のフォトマスクを製造するために不可欠なレベルのマスク配置精度を提供します。アライメントテーブルは、アライメントプロセス中にマスクとウェーハの両方を運ぶことができます。露出機は可動光学系、光源、真空密閉チャンバーで構成されています。このツールの光学系は、マスクの電子パターンを正確にウェーハに投影するために使用されます。SVG M 761の光源は超高出力のキセノンランプで、小型パターンの露光に明るい照明を提供します。真空密閉されたチャンバーは、露出資産の光学系を囲み、環境中のほこりや汚染物質によって露出が汚染されないようにします。多軸制御モデルにより、アライナーと露出装置はすべての方向にシームレスに移動できます。さらに、制御システムには、ユニットの操作を簡単に、ユーザーフレンドリーにすることができるコンピュータインターフェイスが含まれています。マスクからウェーハへのアライメントをサブミクロメータ分解能の精度で正確に監視および制御することができます。これらの機能を組み合わせたASML M 761は、マイクロエレクトロニクスデバイスの製造に使用される高度なマスクの製造に不可欠なツールです。最小限の無駄と最大限の効率で高品質のフォトマスクを生産することができます。PERKIN ELMER M 761はまた、高度なカスタマイズと適応性を提供します。さまざまな光源、露光時間、マスクサイズに対応しているため、ほぼすべての用途に適しています。使いやすさと高性能を備えたM 761は、現在最も信頼性が高く実績のあるマスクアライナーの1つです。