中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9182874 を販売中

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ID: 9182874
Mask aligners Hard-contact mode.
KARL SUSS/MICROTEC MJB-3は、集積回路の製造に使用される最先端のマスクアライナーです。高精度で柔軟性を提供するように設計されています。これは、5µm解像度、低熱ドリフト、ステップとリピートアライメント機器を備えたフルフィールドオプティカルマスクアライナーです。MICROTEC MJB3ツールは、7軸ロボットアライメントシステムと多基板処理機能を備えています。このユニットは閉じた環境で動作し、最大200mmのウェーハサイズに対応できます。真空チャックは0。003「から0。075」までウェーハの厚さを保持することができます。KARL SUSS MJB 3の自動化されたアライメントマシンは、生産のための正確な現場アライメントを可能にします。KARL SUSS/MICROTEC MJB 3のオートフォーカスツールは、ウェーハと基板の厚さの変化を補うために自動的にアライメントを調整します。ソフトウェアは、ユーザー設定に基づいてアライメント設定を調整し、ウェーハとマスクから現在の設定に直接フィードバックを提供します。KARL SUSS MJB 3には、高度な傾きの一般化と、ウェーハへのマスクの正確なアライメントを可能にする画像のストレッチまたはシフトが装備されています。MICROTEC MJB-3は、カスタマイズ可能な露出パラメータを備えた新しい高速露出アセットを備えています。この露出モデルは、紫外線光源をベースにしており、9。5 「x 9。5」フィールドサイズの線形紫外線露光を提供します。統合されたリアルタイム反射計は、露光強度と設定を監視し、それに応じて露光時間を調整しながらこの情報を中継します。KARL SUSS/MICROTEC MJB 3には、さまざまな安全機能と内蔵センサーが搭載されています。レーザー露光計は、ワークフローを中断することなくエネルギー密度を測定し、エネルギーレベルを超えないようにします。MICROTEC MJB 3の人員インターロックとフラッシュドライブのアクセス制御は、追加のセキュリティのためにアライメントステーションへのアクセスを制限します。結論として、MJB3は高精度で柔軟な集積回路の製造に最適です。高度なアライメント装置、UV露光、安全機能により、KARL SUSS MJB-3、厳しい変化を続ける集積回路業界に最適です。
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