中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9082394 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 6は、高性能でトップオブラインのマスクアライナーです。その機能には、モジュラー設計と自動プログラミングとアライメントだけでなく、光学、検出システム、エンジニアリンググレードのコンポーネントの印象的な配列が含まれます。MICROTEC MA6は、光学、接触、ナノ、エッチングのアライメントを含む多数のアライメントタイプを提供しています。KARL SUSS MA-6のアライメント精度は非常に正確で、登録は3マイクロメートル以内です。これにより、さまざまな用途において、細かいギアパターニング、ライン幅、パターンアライメントの要件をさらに強化することができます。MICROTEC MA 6には、10Xズームレンズや4Xズームレンズなど、さまざまな光学系が搭載されています。ウェーハから光学までの作業距離も調整可能で、接触アラインメントを行うことができます。光学顕微鏡では、高さや直径30ミクロン程度の特徴を再現することができます。MICROTEC MA-6はまた、正確なパターンのアライメントを保証する検出システムの数を備えています。例えば、赤外線カメラは、最大解像度6ミクロンの微小検出と超高感度アライメントにLEDライトを使用しています。KARL SUSS MA 6は、最高の精度を確保するために、エンジニアリンググレードのコンポーネントを使用しています。それは200ワットの照明器によって動力を与えられ、ステッピングモーターは20mm/secまでの速度が可能です。自動化されたプログラミング、ステレオ顕微鏡、追加のステージングシステムとともに、超精密なパターンアライメントを確認できます。MA 6マスクアライナーは、3マイクロメートル以内の精度でさまざまなアライメントタイプを実行できます。モジュラー設計と洗練された光学系、検出システム、エンジニアリンググレードのコンポーネントにより、超微細なギアパターニングとパターンアライメントソリューションに比類のない精度を提供します。