中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 24 #60054 を販売中

この商品は既に販売済みのようです。下記の同じようなプロダクトを点検するか、または私達に連絡すれば私達のベテランのチームはあなたのためのそれを見つけます。

ID: 60054
ウェーハサイズ: 4"
Aligner, 4" Alignment accuracy (between upper and lower side of the wafer): <2 Microns Alignment table rotation: <2° Double side exposure Cassette to cassette handling Bright field and dark field illumination Diffraction reducing optical systems 350W HBO Lamps.
KARL SUSS/MICROTEC MA 24は、様々なフォトリソグラフィ用途向けに設計された自動マスクアライナーです。このマシンは、0。25 µmまでの解像度を達成することができ、高精度であるように設計されています。マスクと基板のアライメントを高精度に評価する光学カメラを搭載しています。MICROTEC MA 24には、ステッピングアライメント制御や手動アライメント補正など、幅広い用途に対応する多数の機能が搭載されています。アライメント処理を開始するために、KARL SUSS MA 24はマシンのホルダーに配置された基板を受け取ります。基板は、シリコン、シリカ、ガラスなどの様々な材料で構成することができ、ホルダーのサイズは様々な基板サイズに適応するように設計されています。基板がロードされた後、マスクはマスクキャリアに配置され、マスク位置決めステージに挿入されて基板に完全にアライメントされます。その後、MA 24は、レチクル転送プロセスを開始する前に、マスクアライメントプロセスを簡単に実行します。レチクル搬送プロセスでは、LED、アークランプ、ベッセルビーム、レーザー投影システムなどの高度な光学系を使用して、マスクのパターンを基板に正確に転送する必要があります。ステッピングアライメント制御と組み合わされたこれらの光学系は、レチクルを基板に非常に正確に配置することができます。MICROTEC MA 24には、マスクの基板上のアライメントを変更してレチクルをより正確に配置できる手動アライメント補正機能も搭載しています。レチクル搬送プロセスが完了すると、カールサスMA 24は硬化段階に進み、レジスト材料を硬化させることで、移植されたパターンを基板に恒久的に移します。MA 24は、現在のアプリケーションの要件に応じて、UV硬化ランプまたはホットプレートのいずれかを装着できます。最後に、パターンが硬化した後、マシンは、基板を除去する必要なくアライメント処理を繰り返すことにより、同じ基板に別のマスクを揃えるように設定することができます。全体として、KARL SUSS/MICROTEC MA 24は、さまざまなフォトリソグラフィ用途向けに特別に設計された高精度のマスクアライナーです。その高度な光学およびアライメント機能により、基板上に高精度のレチクル配置が可能になり、その硬化機能により、パターンが基板に永久に貼り付けることができます。前のアライメントで使用されていた同じ基板をリロードすることで、処理時間を節約し、効率を向上させることができます。
まだレビューはありません