中古 EVG / EV GROUP 620 #9165257 を販売中

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ID: 9165257
ヴィンテージ: 2008
Mask aligner, 4" BSA Lamphouse: 500W Automatic filter exchanger Conversion kit: 6" 2008 vintage.
EVG/EV GROUP 620マスクアライナーは、重要な半導体製造処理のための高精度マスクを製造するために使用される強力なツールです。EVG 620は、精密5軸ステージ、高度なリニアモータ、およびハイブリッド空気/水冷装置を使用して、直径300mmまでの基板の信頼性の高い正確なアライメントと加工を容易にします。EV GROUP 620集積回路(IC)ダイボンディングアライメントシステムにより、高精度、費用対効果、反復可能なリソグラフィ結果が保証されます。10mm Zの「ぐらつき」で柔軟な配置とカウントを可能にし、あらゆるICダイサイズの完璧なアライメントを実現します。さらに、モーションコントロールユニットは、10ミクロンの精度で高速かつ正確にウェーハや基板をアライメントするための優れた中型たわみ性能を保証します。ズーム光学と内部フィルタを備えた2つの高解像度カメラは、高精度のウェーハアライメント検証に使用されます。カメラは、12倍または8倍全体のズームを備えており、パターン化されていない基板とパターン化された基板の両方で30ミクロンの最小フィーチャーサイズ検出を備えています。620は、すべての動作パラメータの簡単なセットアップとプログラミングを可能にするプログラム可能なメニュー駆動のウェーハアライメントマシンを持っています。マスクアライメントプロセス中に基板からの寸法変化を簡単に追跡できる自動キャリブレーション機能もあります。このツールは、ポジティブとネガティブの両方の画像アライメントをサポートし、高速な自動フォーカス機能を提供します。均一な光場を持つ調節可能な照明モジュールは、暗い/明るい斑点を排除し、最も簡単で最も効果的なアライメントのために最小の0。05°傾斜誤差を保証します。EVG/EV GROUP 620マスクアライナーは、高精度と再現性を必要とする半導体製造プロセスに不可欠なツールです。強力なモーションコントロール資産、高度なイメージング技術、プログラマブルなアライメントパラメータにより、大規模な基板を処理する際に比類のない精度を保証します。
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