中古 TRIKON / ELECTROTECH ND-6210 販売中

スパッタリング装置

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TRIKON / ELECTROTECH

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PECVD System, 6" Process: SiN-SiC (Sio2) Gases: CF4, O2, N2, N2O, SiH4, NH3, SiH4/Ar-5%, CH4 Manuals

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