中古 CYMER ELS 5410 #9257268 を販売中

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CYMER ELS 5410
販売された
製造業者
CYMER
モデル
ELS 5410
ID: 9257268
Laser system.
CYMER ELS 5410は、今日の半導体製造環境の厳しい要求に対応するために設計された強力なレーザーベースの機器です。このシステムは、レーザー源のパルス・バイ・パルス制御を使用して、最適なスループットと最適な材料除去速度を実現します。このユニットは、操作とメンテナンスが容易な安定した産業用グレードのプラットフォーム上に構築されています。精密リニアモータを搭載し、高い精度と再現性を備えた絶対的なモーションコントロールを実現します。CYMER ELS-5410はまた正確なビーム配達を保障するために進歩的なスキャン機械を特色にします。ELS 5410のX、 Y、 Zの大きな移動により、最も困難なレーザープロセスに最適です。このツールのレーザーソースは、幅広い材料に対応しながら、最高の使用率と稼働時間を提供するように設計されています。レーザー光源のパルス電力は、材料除去速度を最適化し、プロセスウィンドウをよりよく利用するために簡単に調整できますが、パルス反復速度を制御してサーマルドリフトを最小限に抑えることもできます。ELS-5410の統合された制御資産は、フルレンジのレーザーハードウェアとロボティクスとシームレスに動作し、自動化された環境での使用に最適です。このモデルにはプログラミング・プロセス・ステップ用の直感的なGUIが含まれており、ユーザー定義のパラメータをすばやく更新できます。安全性は常に懸念され、CYMER ELS 5410は、密閉レーザー操作、緊急インターロックシステム、石英遮蔽窓などの機能を通じて重要な考慮事項に対処します。レーザー装置の電気的安全性は、産業用レーザーの現在のドイツおよびヨーロッパの標準に準拠するために認定されています。全体として、CYMER ELS-5410レーザーは、半導体メーカーに、最も困難なアプリケーションのための信頼性と信頼性の高いツールを提供します。高出力、精度、幅広いプロセスパラメータ、堅牢な安全機能により、今日利用可能な主要な産業用レーザーシステムの1つです。
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