中古 CYMER ELS 5410 #9205172 を販売中

CYMER ELS 5410は、深紫外光（DUV）リソグラフィおよび半導体処理に使用される波長1,064nmのレーザーです。半導体製造プロセスおよびその他の関連アプリケーション向けに設計されたエキシマレーザーです。半導体製造プロセスにおける産業用に設計された信頼性の高いレーザーであり、その長寿命と一貫したパルス性能により、今日の半導体産業にとって貴重なツールとなっています。CYMER ELS-5410は、ほぼ回折制限されたビームで最大8mJの高パルスエネルギーと800 MWのピーク電力を提供します。6nsのパルス長により、誘電体フィルムパターニング、ポリシリコンエッチング、MEMS切断、集積回路のリソグラフィなど、複数のアプリケーション領域に適しています。このレーザーは、パルス間ジッタが低く、パルス反復速度が低く、最大500Hzの反復速度で動作します。ELS 5410は信頼性が高く、寿命は15,000時間以上です。デバイスを常に維持および監視することなく、より高い出力を提供することができます。レーザーのガラスボディはまた熱保護を提供し、それと接触する人員の安全を保障できます。レーザーが効率的かつ正確に動作することを確認するために、レーザー制御ユニットを含むELS-5410のクローズドループシステムは完全に調整可能です。制御ユニットは、パルス幅、パルスエネルギー、チューニング、トリガーなどの複数のパラメータで調整可能で、半導体加工の複数のアプリケーションで使用できます。CYMER ELS 5410は半導体の製造で使用される非常に適用範囲が広く、信頼できる機械です。その精密なビーム、高エネルギー、パルス長は、さまざまな用途に適した効率的なツールです。このデバイスは非常に信頼性の高い動作とクローズドループ・システム、ならびにその熱保護により、安全でユーザーフレンドリーな動作を実現します。