中古 CANON EX4 #9242644 を販売中

CANON EX4 Wafer Stepperは、さまざまな生産ニーズに対応するために設計された高性能ウェーハリソグラフィ装置です。このシステムは、ウェハレベルのパッケージングやその他のフォトリソグラフィ用途に最適です。高精度のXY位置決めステージ、露出ユニット、スループット制御装置を内蔵したモジュラー設計です。EX4のXY位置決め段階は、0。2 μ mの高分解能と0。1 μ mの再現性があり、リソグラフィ素子の配置において優れた精度と再現性を提供します。ステージは、粗い動きのための低レベルのステージと細かい調整のための高レベルのステージを備えた2段階のマシンで構成されています。モーションコントロール技術は、同社独自のServo4モーションコントロールモジュールに基づいています。これにより、ウェーハスキャン経路全体でスムーズで正確なモーションコントロールを実現します。キヤノンEX4の露光ツールは、モータ駆動のミラースキャナ、高速スキャン30-kHz、高出力IRレーザーで構成されています。また、2軸同期スキャンモードを備えており、ビームスポットサイズと均一性を完全に制御することができます。このアセットにはオプションの光学空中画像測定装置もあり、適切なウェーハ露出を確保するのに役立ちます。EX4のスループットコントローラはNコントローラです。このデバイスは、加圧およびフロー制御設定を調整することにより、モデルのスループット速度に影響を与えます。コントローラにはタイマー設定があり、所望の露出時間を達成するために調整することができます。全体として、CANON EX4 Wafer Stepperは高度な技術を持つ高度なウェーハリソグラフィ装置です。堅牢で信頼性の高いパフォーマンスを提供し、さまざまなウェハレベルのパッケージングおよびフォトリソグラフィーアプリケーションに最適です。