中古 CYMER ELS 4000D #9245277 を販売中

製造業者
CYMER
モデル
ELS 4000D
ID: 9245277
ヴィンテージ: 1993
Laser KrF Excimer DUV Laser: 248 nm Maximum power: 50 W Maximum pulse energy: 0.5 J Duration: 10-50 ns 1993 vintage.
CYMER ELS 4000Dは、高品質で精密な微細加工性能を実現するために設計された最先端のエキシマレーザー装置です。この高度なシステムは、比類のない精度と再現性を備えた回路、MEMS、およびその他のマイクロスケール構造を生成することができます。このユニットは、信頼性の高い蛍光ランプベースの電源を備えた高速低電圧レーシングヘッド設計に基づいています。このレーザーは、パルス式の3窓アーキテクチャを使用して、所望の動作プロファイルを制御およびロックし、安定した信頼性の高い動作を保証します。幅広いパルス幅、周波数、エネルギーレベルを備え、複雑な構造や表面を正確に加工できます。ELS 4000Dには高度なデジタルコントローラが装備されており、プロセスの要件に合った正確なレーザー出力エネルギーを提供します。内蔵の安全機能により、レーザー出力パラメータを継続的に監視でき、ビームポインティングの安定性とビームの均一性を最適化するように設計されています。このアセットには、タッチスクリーンの感度も備えており、ユーザーはモデル設定を調整し、さまざまな設定を試すことができます。CYMER ELS 4000Dは、優れたプラズマ制御を提供し、エッチング機能の優れた性能を保証する優れた光学系を提供します。レーザー光学装置はレーザー幾何学および脈拍変数の広い範囲の最もよい光出力を提供するように設計されています。レーザーヘッド、aimer、カプラーを含むシステムのコンポーネントは、光学ユニットの性能を向上させ、レーザービームステアリングのエラーを排除するために組み合わされます。ELS 4000Dは生産性を最大限に高めるために設計されています。迅速な学習曲線で操作するのは非常に簡単で、あらゆるレベルのユーザーに最適です。機械は既存の生産ラインと統合することができ、材料加工の必要性を満たすために必要に応じて容易にスケーリングすることができます。メンテナンスは、モジュラー設計とツールに使用される高品質のコンポーネントで簡単であり、資産の寿命に最適なパフォーマンスを保証します。
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