中古 VISION SEMICON VSP-88H #9189032 を販売中

VISION SEMICON VSP-88H
製造業者
VISION SEMICON
モデル
VSP-88H
ID: 9189032
Plasma cleaner.
VISION SEMICON VSP-88Hは半導体材料の熱処理のために特別に設計された先進的で高品質のオーブン/炉です。これは、さまざまな加熱プロセスと優れた加熱均一性と温度制御の精度を提供することができます。VSP-88Hは信頼でき、有効な熱エネルギーおよびよい熱安定性を提供する現代発熱体が装備されています。VISION SEMICON VSP-88Hは、高い加熱均一性と精度を確保するために、高精度のPID(比例積分誘導体)比例積分誘導体)温度制御アルゴリズムを採用した高度な温度制御装置を採用しています。これにより、温度が制御され、非常に高いレベルの精度で管理され、幅広い温度範囲、長時間にわたり、非常に高いレベルの温度安定性を備えています。温度は、室温から1000ºCまでの範囲の値で設定および制御することができます。VSP-88Hは最高システム稼働時間を提供するように設計されており、プロセス部屋の熱応力を保障しない均一な暖房の表面が付いている発熱体を進めました。また、特別に設計されたノズルを使用して高温の空気を描画する空気注入ユニットを備えています。これにより、熱拡散を最小限に抑え、基板の損傷を最小限に抑え、歩留まりと製品品質を向上させることができます。VISION SEMICON VSP-88Hには、温度制御シャットオフと過熱保護ツールを含む包括的な安全装置も装備されています。この資産のコントローラは、危険な温度上昇の場合にはオーブンを監視してシャットオフします。このモデルには、温度が一定の値を超えると暖房室へのアクセスを遮断する内蔵のインターロック装置も含まれています。また、様々なMFC(マスフローコントローラ)や熱電対にも対応してVSP-88H、周辺システムやプロセス監視システムに接続して、熱プロセスをリアルタイムで監視することもできます。オーブンは半導体アプリケーションにも適しており、酸化、反応、拡散、アニールなどのさまざまなプロセスに使用できます。最後に、VISION SEMICON VSP-88Hは、優れた加熱均一性と温度制御精度を提供する高度で高性能なオーブン/炉です。そのプロセスと安全機能の範囲は、半導体材料の熱処理のための理想的な選択肢となります。
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