中古 VEECO IBD-350 #9040552 を販売中
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ID: 9040552
Ion Beam Deposition System
Main Unit:
(1) Deposition Chamber 0.2 cubic Meters, Pressure = -1Bar
(1) Deposition Chamber 0.75 cubic Meters, Pressure = -1 Bar
(2) Q Leybold MAG 2000 Turbo Molecular Pumps, (1) CTI Cryogenics ON-Board 8F Cryopump
(2) Amtek Process Instrument Dymaxion Dycor Residual gas Analyzer Mass Spectrometers
Control Racks with the Following Combined Components:
(4) Triplite Smart UPS Rack Power Supplies
(4) Rack Servers
(1) LCD Monitor
(1) Raritan Master Console MX Module
(3) CTI Cryogenics Controllers
(1) Pfeiffer Model TCP380 Vacuum Controller
(6) Sorenson Model DCS60-18E Power Supplies
(2) Sorenson DCS600-1.7E
(1) Netview KVM Switch Solutions Controller
(1) Hiden Analytical RC Interface Modules
(3) Spellman SL1200 Controllers
(2) RFPP Model RF20MWC Plasma Generators
(2) Leybold Mag Drive 2000 Controllers
(1) Sorenson DCS20-150 Power Supply
(2) Spellman SL300 Controllers
(1) RFPP Model RF20M Power Supply
Support Equipment to Include:
(1) Neslab HX-150 Recirculating Chiller
(1) Polycold R2000 Series Model PFC-1100-LT, 2004 vintage
(2) Edwards QDP40 Dry Vacuum Pump Systems with Q-Series 2MCM Interface Modules
(1) Edwards QDP80 Dry Vacuum Pump System with a Q- Series 2MCM Interface Module
(3) CTI Cryogenics Model 9600 Compressors
(1) Polyscience Recirculator
(1) Power Cabinet with a 5HP Internal Motor.
VEECO IBD-350は、多種多様なナノ加工用途を実現するために設計された高精度イオンミリング装置です。このシステムは、基板から材料を除去するために焦点イオンビーム(FIB)フライス加工を使用し、高精度の垂直プロファイルを作成します。このユニットには、ガリウム、キセノン、ヘリウムなど、さまざまなイオン源があり、さまざまな用途や基板に適した選択が可能です。VEECO IBD 350は、ミクロンおよびナノメートルレベルの解像度と高いスパッタレートを備えています。有機材料、無機材料、金属材料など幅広い材料や基材に切断でき、安定性と精度に優れています。統合された高分解能透過型電子顕微鏡(TEM)スクリーンを使用することで、現場の迅速な測定が可能になり、サンプリング処理が容易になります。さらに、このマシンはX-AxisのみでもX-Y-Axisでも同時モードでも簡単に動作でき、フライス加工プロセスの適切な範囲と深さを柔軟に選択できます。また、IBD-350は直感的な制御ツールを備えており、イオンミリングプロセスの迅速かつ簡単なセットアップ、操作、および監視を可能にします。このアセットは、ビーム電流、ビームサイズ、電力密度、パルス長などのプロセスパラメータを強力に制御し、最高レベルの精度と再現性を提供するために調整することができます。モデルのソフトウェアは、ユーザーが設定を保存してリコールすることもでき、シンプルでユーザーフレンドリーなエクスペリエンスを作り出します。信頼できるフライス加工プロセスを保証するために、IBD 350には、過剰フライス加工や局所温度上昇を防ぐためにフライス加工中に基板を冷却するエアノズル、および基板の損傷をすばやく記録してフライス加工を停止する検出制御ビームブランキング装置など、さまざまな安全機能が含まれています。VEECOには自動サンプル交換システムも含まれており、効率的な試行錯誤プロセスが可能です。VEECO IBD-350の特徴を組み合わせることで、さまざまなナノ加工プロセスに最適です。VEECO IBD 350は、正確で信頼性の高いパフォーマンスにより、さまざまな研究および産業用途に最適なソリューションです。
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