中古 VARIAN 350DE #9055664 を販売中

VARIAN 350DEは、高性能半導体加工ソリューションのリーダーであるVARIAN Semiconductor Equipment Inc。のイオンインプラントおよびモニターです。このハイエンドイオン注入器は、高容量の半導体製造および加工アプリケーションに精密動作、優れた性能と信頼性を提供します。350DEは安定した、反復可能なドーピングの集中の設定およびより多くのプロセス安定性を提供するように設計されています。その高い電流と高速機能は、高い生産性と最大ドーパントのスループットを可能にします。それは一定したビーム強度および均一な適量制御を保障するために芸術のビームモニターの状態が装備されています。ビーム安定性の問題を修正するビーム補正機能を備えています。さまざまなウエハ基板に高い精度で対応できる堅牢なイオンビームで設計されています。VARIAN 350DEは、ウェーハを特定のポケットに自動的にロード、アンロード、保存するスマートフィードテーブル制御システムを備えており、複数のウェーハを一度に導入することもできます。24ゾーンのウェーハ洗浄機能を備えており、着床前にウェーハから不要な粒子を除去します。そのエネルギー安定剤は優秀な線量制御のための信頼できるインプラント・エネルギーを保障します。350DEは高度な制御アーキテクチャとイオンビームの3次元ビューを備えており、最高の精度と最適な用量を提供します。統合された制御システムにより、ユーザーは注入パラメータにすばやくアクセスして操作することができます。また、さまざまなインプラントや操作のデータを保存できる強力なデータロギングシステムを備えています。全体として、VARIAN 350DEイオンインプランターおよびモニターは、中規模および大規模な半導体加工アプリケーションに強力で信頼性の高いソリューションを提供します。信頼できる操作、再現可能な埋め込みプロセス、高度な監視機能を備えており、最高の歩留まりを保証します。また、優れたデータ収集と管理機能を提供し、ユーザーの本番ニーズをサポートします。