中古 VARIAN 350DE #69341 を販売中

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ID: 69341
Mid current ion implanter, 4"-6" Set for Phosphine, BF3, and Arsine Standard configuration 1985 vintage.
VARIAN 350DEは、高精度イオン注入プロセスに広く使用される完全自動イオンインプラントおよびモニターです。その優れた精度とスピードにより、マイクロエレクトロニクスデバイスから材料の研究開発まで、さまざまなアプリケーションに最適です。350DEは高度なスキャン制御とオートメーション機能により、非常に高い精度を達成することができます。可変インプラントのパラメータを正確に調整して、目的の最終結果を迅速かつ効率的に生成できます。このシステムにより、イオンビームスポットサイズの調整が可能になり、異なるマシンに切り替えることなく、ウェーハ全体のさまざまなレイヤーと機能を可能にします。VARIAN 350DEには高精度イオンソースとモニターが装備されています。高精度な独自のデジタルビームプロファイル制御イオン源を使用し、長いインプラント時間でも安定したビームプロファイルを維持します。この機能により、インプラントされたイオン線量が標的範囲内で一貫して維持され、ウェーハ全体のインプラントの均一性が向上します。350DEは、ビーム電流、電圧、ビーム形状、ドウェル時間、埋め込まれたイオンの深さなど、調整可能なインプラントパラメータを提供します。最大5,000イオン/秒の処理が可能なため、高スループットのアプリケーションに適しています。また、幅広い外部制御機能を備えているため、複数のインプラント実行にわたって高速かつ効率的な操作が可能です。VARIAN 350DEは非常に信頼性が高くメンテナンスフリーで、シンプルでまれな校正が必要です。プログラミングのための包括的なドキュメンテーションと特別なソフトウェアが付属しているため、ユーザーは最適なパフォーマンスを得るために注入プロセスのパラメータを簡単に制御および調整できます。全体として、350DEは強力で汎用性が高く、高精度なイオンインプラントおよびモニターであり、さまざまなインプラント用途に精度と信頼性を提供します。その高速、信頼性の高い精度と幅広い外部制御機能は、最高の着床結果を達成するために探している研究者やエンジニアのための理想的な選択肢となります。
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