中古 VARIAN 300XP #9103077 を販売中

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VARIAN 300XP
販売された
ID: 9103077
ウェーハサイズ: 8"
Implanter, 8".
VARIAN 300XPイオンインプランターとモニターは、性能を向上させるために不純物を単結晶の基板に埋め込むための信頼性の高いソリューションをユーザーに提供する高度な技術です。このイオンインプランターは、バイアス電圧、ビームスポット強度、および投与期間を動的に変化させる機能を備えた、インプラントのパラメータの比類のない制御を備えています。VARIAN 300 XPは、高電流パルスモードビームを使用してエネルギー原子種を転送し、高度な静止イオン源とビームステアリングおよびシェーピングオプティクスを備えています。この装置は、プラズマアッシュによる内部ガス洗浄、トップアップインプラント、ガスまたは液体拡散など、さまざまな構成に適応することができます。300XPは堅牢で高性能なビーム光学設計を採用しており、最大8ミクロンのスポットサイズと優れた均一性の正確なビームフォーカスを可能にします。これにより、インプラントのドーピングプロセスと高忠実度インプラントのプロセスが加速されます。さらに、システムには構成可能なアライメント変換があり、複雑なインプラント・パターンとアライメントの不正確さを容易にするために使用されます。さらに、300 XPには、インラインFaradayカップ監視ユニットが装備されており、注入時にイオンビームを監視し、正確で反復可能なインプラントを保証します。VARIAN 300XPは、荷電粒子への偶発的な暴露を防ぐための圧力インターロックなど、さまざまなカスタマイズ可能な安全オプションも提供しています。また、磁気干渉を感知したときにビームを遮断する磁気インターロックマシン(MIS)も付属しています。この機能により、ツールのパフォーマンスの完全性とオペレータの安全性が保証されます。プロセスの再現性を確保するために、このアセットは、線量測定、電流監視、基板データ収集、基板運動補償などの自動プロセス補償を提供します。これは、均一で反復可能なドーピングプロファイルの配信を確実にするのに役立ちます。また、フルレンジナビゲーション、エントリーレベルプログラミング、マクロプログラミング、バッチ処理などの高度な動作モードも備えています。VARIAN 300 XPは、イオン注入のための非常に信頼性が高く、費用対効果の高いソリューションです。装置は容易な統合および操作のために設計され、優秀な制御、反復性および安全を提供します。これらの高度な機能を備えた300XPは、あらゆるイオン注入アプリケーションに最適です。
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