中古 THERMA-WAVE TP 420 #9187284 を販売中

THERMA-WAVE TP 420ウェーハ試験および計測装置は、半導体ウェーハの解析および検査において信頼性の高い正確な結果を提供するために設計された次世代の最先端ツールです。このシステムの最先端の技術は、リアルタイムメトロロジーや直接3次元欠陥マップに使用することができ、さまざまな寸法や属性の高精度な3次元データを提供します。TP 420は、300ミリメートルから8インチウェーハまで、さまざまなウェーハサイズに最適です。最先端の光学系を搭載しており、サブナノメートル分解能を持つ150ナノメートルの小さい特徴の寸法特性評価が可能です。ユニットの重要な特徴は、高度なパラメータ化、欠陥散乱の最小化、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを含むソフトウェアです。このマシンは、無制限のカスタマイズオプションで効率的なデータ収集を提供し、光学ツールの正確なアライメントとデータ取得時の重要なパラメータのキャリブレーションを保証します。THERMA-WAVE TP 420は、バルク単位で欠陥を検出する超音波センサーも備えています。超音波センサーは、ウェーハあたりの欠陥の総数のプレビューを提供します。これにより、テスターとオペレータの両方が、以前に取得した結果と完全な精度で結果を比較できるようになります。さらに、超音波センサは、ミクロンサイズの亀裂、タワー欠陥、スラグ、穀物などの複数の種類の欠陥を同時に検出することができます。TP 420は、高度な計測機能に加えて、ウェーハの生産とプロセス開発のための包括的なウェーハテスト機能を提供します。パターン欠陥から接触面の汚染まで、マクロとマイクロレベルのさまざまな種類の欠陥を検出することができます。アセットはまた、傷、深さの傷、リンギング、エンタム、および電気的接触の悪さを検出し、最終製品が欠陥のないことを保証することができます。最後に、THERMA-WAVE TP 420は既存の生産システムに統合され、ワークフロー内で迅速かつ正確な結果を提供できます。さらに、このモデルはメンテナンスと拡張性を容易にするように設計されています。そのモジュラー設計は、必要に応じて技術をアップグレードすることを可能にし、業界の変化する要件に追いつくことを保証します。全体的に、TP 420ウェーハテストおよび計測機器は、信頼性と正確な結果を保証する包括的な機能と機能を提供し、顧客は欠陥のない製品を受け取ることができます。このシステムは、ウェーハの試験および計測ニーズに対応する完全なソリューションを提供し、ウェーハの製造およびプロセス開発に最適です。