中古 THERMA-WAVE DT-360 #9126377 を販売中

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ID: 9126377
Probe 500I.
THERMA-WAVE DT-360は、イオン注入プロセスの効率を最大化するように設計されたハイエンドイオン注入器およびモニターです。主に半導体およびマイクロエレクトロニクス業界で使用されています。DT-360は、高効率、高精度、費用対効果の高いイオン注入ソリューションを提供します。THERMA-WAVE DT-360は、イオン注入プロセスの厳しいニーズを満たすように設計されています。これは、高エネルギーから低エネルギーのビームに至るまで、ビーム注入のための最大8つの異なるオプションを提供することができます。これにより、DT-360は広範囲の埋め込み深さを達成することができます。また、ドーピングや領域の範囲を作成することができます調整可能なビームサイズを提供しています。THERMA-WAVE DT-360は、インプラントのパラメータを正確に測定および制御できるイオンモニター装置も備えています。ユーザーはビームのサイズ、流れ、電圧、部屋ガス、温度、インプラント時間およびビーム充満レベルを監視できます。これにより、インプラントのプロファイルのより一貫した結果と正確な制御が可能になります。DT-360はまた、高速スループットを提供します、これは、より速く、より効率的な移植を可能にします。THERMA-WAVE DT-360は、高い精度と高いスループット速度を必要とするプロセスに最適です。さらに、DT-360には最大500回の実行を記録できるデータロギングシステムが内蔵されています。このデータロギングユニットは、実施されたすべてのインプラントの包括的な記録を提供するのに役立ちます。データを分析して、イオン注入器の性能を把握し、どのプロセスが最も効率的かを判断することができます。THERMA-WAVE DT-360は、安全機能も備えています。ガスクラバーが内蔵されており、チャンバーから不要な粒子を除去します。また、緊急時には機械全体を瞬時にシャットオフする非常電源オフ・スイッチも備えています。全体として、DT-360は高度で信頼性の高いイオン注入器であり、イオン注入プロセスの要求を満たすように設計されています。調整可能なビームサイズ、内蔵モニタツール、高スループット速度、および安全機能により、要求の厳しい正確なプロセスに最適です。
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