中古 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV MC3 #9158897 を販売中

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SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV MC3
販売された
ID: 9158897
ウェーハサイズ: 8"
Mid current ion implanter, 8".
SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV MC3は、シングルチャネルプロセスとマルチチャネルプロセスの両方に使用されるハイテクなイオンインプランターおよびモニタデバイスです。このデバイスは、さまざまなアプリケーションで信頼性の高い正確なインプラントとモニタリングを提供するように設計されています。SEN NV MC3は、大型ターゲットチャンバー、高精度インプラントチャンバー、空冷電子カラムを備えています。大型のターゲットチャンバーは、任意の時間に最大8つのターゲットを配置することができますが、高精度の着床チャンバーは、大規模で複雑な着床を処理することができます。さらに、電子カラムは動的で効率的な電子放出を提供し、動作中の効率的な埋め込みと監視を保証します。SUMITOMO EATON NOVA NV-MC3は、気体と液体の複合材料の両方で動作することができ、高度でユーザーフレンドリーなデジタル制御装置が含まれています。このデジタル制御システムは、ユーザー定義のセットアップだけでなく、リアルタイムの監視とプログラム結果の報告を可能にします。さらに、このユニットには、動作中の潜在的な問題または異常を特定するプロービングおよび診断機能が含まれています。このデバイスには、制御された温度設定や過負荷や過度の振動による損傷を防ぐアンチショック機能など、さまざまな安全機能も含まれています。NV MC3には、高度で高精度の均一なウィンドウモニターと、埋め込みとモニタリング中のエラーを防ぐクローズドループビームスキャン機も含まれています。全体として、NV-MC3は、ユーザーに高精度のインプラントとモニタリングを提供するように設計された高度なイオンインプラントおよびモニタデバイスです。このデバイスは、大型ターゲットチャンバー、高精度インプランタチャンバ、強力な電子カラムなど、さまざまな高度な機能を備えています。さらに、このデバイスはまた、プロセスが安全で効率的であることを保証するように設計された、印象的な安全機能の配列を備えています。
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