中古 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD-HE #293615032 を販売中
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ID: 293615032
ウェーハサイズ: 8"
Ion implanter, 8"
Source module:
Gas box:
Gas line-1: HP(Ar), Tylan
Gas line-2: HP (BF3)
Gas line-3: MKS, SDS, PH3
Gas line-4: MKS, SDS, ASH3
Isolation transformer: Oil type
Injector module:
Source type: ELS / Non-vaporizer
Extraction electrode type: 3-Axis electrode
BOC EDWARDS STP-2000C
EBARA 40X20 Dry pump
Facilities module:
Machine transformer: Dry type
Triple loops chiller
AFFINITY CWA-300L-VHE-3LP, P/N:10185
AFFINITY RWA-012T-BE03CB Disk chiller
(2) CTI Cryogenic 9600 compressors
Linac module:
Injector faraday
(2) LEYBOLD Turbovac 1000C Turbo pumps
EBARA 40X20 Dry pump
(4) RFG-3000
(6) RFG-3001
FEM Module:
FEM Power: EMS:03-165-2-D, P/N:00473110
EMS: 03-165-2-D, P/N:00473110
FEM Guss: P/N:1182890
Endstation Module:
307 Type controller
Ion gauge type: Tube glass
4-Axis In-Air controller
4-Axis Robot controller (Macobot controller)
4-Axis Y-Scan controller
4-Axis Cyro controller
Universal dose controller
Disk module:
CTI-CRYOGENIC OB-8
CTI-CRYOGENIC OB-10
CTI-CRYOGENIC OB-250F
EBARA 40X20 Dry pump
Flag faraday
In-Vac arm
Wafer holder
Gyro
Linear drive
Disk faraday
Resolver faraday
Disk model: Si coating
Rotary motor type: Belt drive
Vacuum cassette elevator type: GRTV
Notch finder
Dummy cassette
Load buffer
E/S Elec rack / Quad console module:
Quad rack module
Quadruple power supply
(5) Quadruple power supplies
E/S Elec rack module:1178580
Cell controller model: 133, P/N:1191297
Ground DI
DI Power conditioner
Gyro controller
Loadlock controller
DEXON / PN:19077660 / Flow hood.
EATON NOVA/AXCELIS NV GSD-HEは、イオンビーム注入アプリケーション向けに設計された最先端のイオンインプランターおよびモニターです。この装置は半導体製造工程での使用を想定して設計されており、高品質なイオンを超高精度で信頼性の高い結果で埋め込むことができます。このシステムは、高エネルギーで高電圧のイオン源とさまざまな高度な機能を利用して、小さくて明確なイオン線量を正確かつ確実に埋め込むことができます。GSD-HEユニットのイオン源は、高信頼性、高エネルギー、高電圧イオン源で、三軸マグネット構成です。このイオン源は、最大2。1 MeVのパルスイオンビームと最大2。3 MeVの連続ビームを生成することができ、利用可能なイオン注入の最高品質を生成することができます。イオン源は高度に設定可能であり、ユーザーの入力設定により、さまざまなレベルの埋め込み深度、角度、エネルギーを達成することができます。GSD-HEはまた、正確で信頼性の高い結果を保証するために、さまざまな高度な機能を使用しています。このマシンには、ビーム強度、ビーム形状、エネルギーレベル、移植されたイオンの数など、すべての重要なパラメータをリアルタイムで監視できる、イオンビームのための包括的な監視ツールが装備されています。これにより、ユーザーは最も正確で信頼できる結果を得ることができます。このアセットには、モデルを安全に動作させるためのさまざまなアラームと安全システムがあります。これらのすべての機能に加えて、GSD-HE装置は、あらゆる埋め込みプロセスの速度、精度、信頼性を向上させるためのさまざまな高度な機能も提供します。これには、より速く、より効率的な移植を可能にするアダプティブスキャンシステムと、ユニットが単一のサイクルで複数のインプラントを実行するようにプログラムする機能が含まれます。GSD-HEには、移植の精度を検証するための将来のスキャンをサンプリングするFATサンプリングツールや、移植の精度と再現性を確保するための内蔵のキャリブレーションモードなど、信頼性の高い結果を保証するための高性能制御および診断ツールもあります。GSD-HEは信頼性の高い高性能マシンであり、ユーザーに注入プロセスを最適化するための幅広い高度な機能を提供します。その多様な監視および制御システムは、経験豊富なユーザーと経験の浅いユーザーの両方にとって理想的な選択肢です。最先端のコンポーネントと組み合わせることで、GSD-HEは高品質で信頼性の高い着床結果に最適です。
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