中古 EATON NOVA / AXCELIS NV 10-160 #149571 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS NV 10-160は、さまざまな材料をさまざまな基板やその他の表面に埋め込むために設計された高度なイオンインプラントおよびプロセスモニタです。さまざまなインプラント条件にわたって正確で信頼性の高いデータを提供し、一貫したインプラント品質を確保することができます。装置はイオン源、電源、モニターで構成され、ユーザーに包括的なイオンビーム処理ソリューションを提供します。イオン注入器にはAC/DC電源が搭載されており、0〜10kVのさまざまな機能電圧を提供します。これは特許取得済みの「充電中和システム」と組み合わされており、注入後の基板に意図しない静電気電荷が残らないことを保証し、欠陥や材料残留物のリスクを低減します。このユニットには高圧アルゴンチャンバーも装備されており、より高いインプラント用量と改善された均一性を可能にします。モニターは、リアルタイムの埋め込みパラメータを提供するように設計されており、最新の埋め込み情報を表示することができます。これにより、インプラント工程を迅速かつ効果的に最適化することができます。さらに、モニターは統計的プロセス制御（SPC）マシンと統合されており、時間をかけて結果を記録し、ユーザーが長期的な傾向を理解してそれに応じて調整することができます。AXCELIS NV10-160は、市場で最も先進的なイオンインプラントおよびプロセスモニタの1つです。これは、植え込みプロセスを例外的に制御し、一貫した信頼できる結果を保証するのに役立ちます。このツールをプロセスに実装することで、欠陥率を低減し、最終的に生産性とコスト削減を向上させることができます。