中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X #9190767 を販売中

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AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X
販売された
ID: 9190767
ウェーハサイズ: 12"
Ion implanter, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum Xは、最新の半導体製造における生産性を最大化するために設計された高度なイオンインプラントおよびモニターです。イオン注入技術の最新技術と最先端の制御システムを組み合わせ、優れた性能とこれまでにないレベルのプロセス制御を提供します。AMAT Quantum Xは、プラズマ源とイオン化チャンバーの両方に超高加熱マグネトロンを使用しています。超高加熱マジェトロンは、一定のイオン化温度、制御性と速度の向上、およびイオンビームの角度、数、拡散に対する正確な制御を可能にします。これにより、より一貫したイオン注入結果と、以前のシステムよりもはるかに厳しいイオンビームプロファイルが保証されます。APPLIED MATERIALS Quantum Xは、高精度のロボットアームを使用して、基板処理システムを改善しました。高度なロボティクスと制御システムにより、再調整に必要な時間がほとんどなく、インプラント位置と経路を変更することができます。これにより、セットアップ時間が短縮され、手動イオン注入によく関連する誤りやその他のエラーの可能性が排除されます。Quantum Xには最新の制御システムと幅広い自動設定が搭載されています。これにより、高度なプロセスパラメータを設定および監視しながら、最高品質のサンプルのみを製造することができます。このシステムは複数のインプラントプログラムを実行でき、各プログラムはバンドルされたサンプルと分割されたサンプルの両方を処理することができます。このシステムはまた、複数の埋め込み材料プロバイダーを可能にし、使用される材料の選択に柔軟性を与えます。AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum Xは、高効率で費用対効果の高い埋め込みプロセスと、プロセス制御と監視のための包括的なプラットフォームを提供するように設計されています。高度な自動化およびプロセス制御システムは、優れた性能と複数のプロセスを処理する能力を兼ね備えており、AMAT Quantum Xは現代の半導体製造において最先端の選択肢となっています。
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