中古 USHIO UMA-1002-HC93NM #9096447 を販売中

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USHIO UMA-1002-HC93NM
販売された
製造業者
USHIO
モデル
UMA-1002-HC93NM
ID: 9096447
ヴィンテージ: 1996
UV Cure system, 1996 vintage.
USHIO UMA-1002-HC93NM露光装置は、マイクロスケールおよびナノスケール機器のフォトリソグラフィ用の高性能で最先端のツールです。このシステムは、レーザー干渉計ベースの非常に精密なアライメントユニットを備えており、2つのクロスヘアビームを使用して、フォトレジストの正確なアライメントと位置決めを保証します。これは、非常に薄いレジスト層を扱う場合でも、非常に再現性の高い結果を保証します。今日の次世代集積回路のニーズを満たすために、機械は紫外線露光プロセスを正確に制御するために、さまざまな調整可能なパラメータを備えています。これには、可変基板機能と複数のアライメントモードが含まれます。これらの機能により、露光プロセスを微調整し、より大きな解像度と正確なパターニングを実現できます。UMA-1002-HC93NMは、NAの高い対物レンズと最先端のfarfieldコリメータを使用し、優れたイメージング性能を実現する一体型プロジェクションレンズツールを搭載しています。投影レンズアセットには、デバイスのピッチ、アライメント、フォーカスを正確に調整するための調整可能な対物レンズモデルも組み込まれています。USHIO UMA-1002-HC93NMは、313nmのUVソースを使用しており、従来のフォトレジストを使用する場合に最適な結果を得るために調整されています。このソースは、感光性ポリマーやカーボンナノチューブなどの他のハイテクな選択肢にも使用できます。装置のピックアンドプレイス機能により、石英、ガラス、プラスチックフィルムなどの繊細な基板を正確に配置できます。このシステムは、タッチスクリーン操作の堅牢なコントロールパネルを備えており、ユーザーはさまざまなパラメータに簡単にアクセスして調整することができます。ユーザーフレンドリーなインターフェイスは、すべてのパラメータが最適なパフォーマンスを維持するために定期的に調整されるように監視機能を提供します。全体として、UMA-1002-HC93NMは最新のハイテク半導体産業のニーズを満たすように設計された高度で信頼性の高いユニットです。この信頼性の高い精密なツールは、優れた画像処理のための統合されたプロジェクションレンズマシン、露出プロセスを微調整するための調整可能なパラメータ、および設定とモニタリングのパフォーマンスを調整するための直感的なタッチスクリーンコントロールを備えています。
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