中古 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9268836 を販売中

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製造業者
AXCELIS / FUSION
モデル
M 200 PCU
ID: 9268836
Photo stabilizers.
AXCELIS/FUSION M 200 PCUは、半導体業界のマスクイメージライティング用に設計された先進露光装置です。このシステムは、高速で信頼性の高い画像書き込み機能、優れたエッジ配置制御、および優れたスループットを提供します。FUSION M200PCUは、精密なレーザー制御と優れた線幅精度により、半導体チップの製造メーカーの生産ニーズを満たすことができます。ユニットは、コンパクトなフットプリントと簡単なインストールで設計されています。光学構成は、高出力、高速UVレーザー源、スキャンヘッド、イメージング光学機器、および高分解能電子ビーム(EB)ビーム偏向ツールで構成されています。スキャンヘッドは、ビーム配送を非常に厳密に制御することができ、信頼性が高く、正確で再現性のあるイメージング特性を実現する二軸偏向アセットを使用しています。AXCELIS M200 PCUは、異なる露光フィールド時間と異なる基板サイズを可能にする可変フィールドサイズプレートを提供します。また、可変ステージスピード、均一かつ均一でないイメージングフィールド、フレキシブルイメージングフィールドサイズなどの特殊機能の統合も可能です。レーザー源は低い汚染およびパワー消費量の高性能を提供するように設計されています。レーザーソースは、長期的な信頼性と安定性を確保する高度なPWM (Pulse Wave Modulated)モデルを使用しています。レーザー光源には、熱分解を最小限に抑えるために冷却ユニットが内蔵されています。EB装置は、長期間にわたって優れた画像の再現性と均一性を提供するように設計されています。より高い電子ビーム電力を得るための改良された電子源と、画像配置を正確に制御する高解像度の高精度ディフレクターを備えているため、ウェーハパターニング用途に適しています。AXCELIS/FUSION M200 PCUは、半導体業界のマスクイメージングおよびウェーハパターニングアプリケーションに柔軟性と優れた性能を提供するように設計されています。精密なレーザー制御、高精度EBシステム、高度な設計機能により、パターニングおよびリソグラフィプロセス開発のニーズを満たすための優れた選択肢です。
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