中古 ABM 350W #9227481 を販売中

ABM 350Wは、半導体産業のフォトリソグラフィ用途向けに作成されたマスクアライナーです。各種基板の自動アライメント、露出、開発が可能なモジュラーデバイスです。半導体ウェーハがアライナーベースモジュールに配置されています。その後、Aligner Readerモジュールを使用して、スキャンカメラからフォトマスクのアライメントと画像位置を検出します。その後のアライメントアルゴリズムを使用して、マスクの位置に合わせて基板の位置を調整します。350Wの光学機器は、デジタルカメラ、高輝度ランプ、トランスミッション8Xプロジェクターで構成されています。動的アライメントプロセスは、クローズドループ・システムによって導かれます。デジタルカメラは高精度で、マイクロサイズの機能を解決することができます。ABM 350Wの露出モジュールには、基板にフォトマスクを露出させるための400Wキセノンランプが装備されています。露出はランプの強度および露出時間を制御することによって正確に調節することができます。最後に、350Wの開発モジュールは、基板の露出領域を開発するように設計されており、残りのフォトレジストを除去するための制御プロセスを提供します。高さや幅の異なる昇降コンタクト、ビア、パターン化されたウェーハなどの機能に最適な開発条件を実現します。ABM 350Wは、マイクロエレクトロニクスとオプトエレクトロニクスの両方のアプリケーションで、高精度で自動的なフォトリソグラフィープロセスを可能にします。モジュール設計により柔軟性と拡張性を実現し、高解像度、低歪みのイメージングユニットを提供し、正確なアライメントとオーバーレイ測定を実現します。さらに、クローズドループマシンによりプロセスの継続的な最適化が可能になり、ファーストパスの歩留まりと再現性が向上します。