中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM #9074890 を販売中
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販売された
ID: 9074890
Dielectric etcher, 12"
Standard Specifications
Software Revision: Linux 5.75 Rev 001
Lot Stability Dummy SW: Software for running lot stability wafer
OEE WPH Software: Yes
GEM SEC Revision: TBD
Wafer Size: Diameter 300+/- 0.20mm(SEMI M1.15), Notch
Carrier: FOUP (Comply with SEMI E47.1 (25wafers))
Inter Face: 5 carrier stage (Continuous flow operation) with Semi compliant MENV and
FIMS assemblies
Online Connection: GEM / CIM GJG (Hardware Interface : Ethernet 100Base-Tx)
Interface A: Yes
Utility Box: Regulator: Air/AR2500(SMC), N2/SQ-420E(VERIFLO),
He/SQMICRO(VERIFLO)
Utility Box: Manual Valv: OGD20V-6RM-K / OGD10V-4RM-K (CKD)
Utility Box: Pressure Gauge: Bourdon Gauge
Loader Mod Corrosion Prevent: NO, without Corrosion Prevent
Load Lock Pressure Monitor: Pressure Switch: VSA100A (INFICON)
Load Lock Pressure Monitor: Pirani gauge: TTR211S LEYBOLD)
Load Lock Pressure Monitor: CM: 626A01TDE (MKS)
Maintenance Monitor: 2 (Flat Panel Display Touch Screen Type)
Water Leak Detector: 5 (LM;1, each PS;1)
Signal Tower: Red/Yellow/Green/Blue (Upper Left of Front x1 & Upper right section of
loader on maintenance side x1)
Data Back up: USB& MO
EMO: Front x3, Rear x6
Cable Length: One 15m and one 16m (Interconnection, RF cables)
Inter Locks: External (When the I/L signal is received from Factory, gas valves are closed)
Fittings: No brass fittings
Supporting Remote Units
Chiller: UBRPD5A-2T
Coolant: Lower:FC3283, Upper:FC40
Chiller Hose: BRINE HOSE 15/14M
Handy Maintenance Controller: LCD DISPLAY UT3-TLN21-A
RF Generator TOP: AGA-50B2
RF Matcher TOP: AMN-50B2
RF Generator Bottom: WGA-50E
Matching Controller: WMN-50H6(2MHZ/5KW)(PS3)
Pen Record Box: 2L80-00212-12
Loader Module: SELME2112ZS22-AD5
LOAD PORT: NO, Bolts-L type
DRIVE UNIT: SBX92102928
READER OPTICAL: ISS-1700-1TELCC
Carrier ID Reader: NO,V640series+V700-L22 (Omron)
APC: 12" (320MM)
Hardware Configuration
Proc Chbr 1,2,3,4: SCCM Oxide; Y203 Coating
Chamber hardware: FCC
Endpoint type: SE2000ii
ESC type: Ceramics ESCwith STD Vpp
Focus ring: 3.4mm
Thunderwall He Gas Inlet: Ceramic Thunderwall with Ceramic pusher pins
Polished focus ring: O
FC lower insulator: FC lower insulator w/quartz upper ring shield
Magnet Shield: O
Oring for Chbr Body-Depos: Armorcrystal, Chemraz SC657
CEL Body ASSY: Brine Control Mode
TMP: TMP-3403LMC-T4(VG300) (SHIMADZU)
TMP Back Pressure Monitor: 51A11TGA2BA003 (MKS)
Dry Pump: ESR80WN, KEG approved
Final Valve, Heater: Valve; AGD21V-6RM-GWL4 (CKD)
Filter: Filter; CEP-TM_HL-VR-03PB (Toshiba Ceramic)
APC: Pendulum Motion Dia., 320mm(VAT), R.T.~90deg
Pressure Monitor: C/M (Process Monitor) : 627BRETDD2P (MKS), 45deg, 30Pa
Pressure Monitor: C/M (Self Check) : 627B11TDC2P (MKS), 45deg, 1330Pa
Pressure Monitor: B.A. Gauge (CM Calibration) : BPG400 (INFICON), 2.0x10-5 ~ 0.1Pa
Pressure Monitor: N,41A13DGA2AA040 (MKS), no process impact
Pressure Monitor: Pressure Switch : 51A11TGA2BA010 (MKS), H2/fluoro gas
Gas Box Configuration:
Gas line 1- N2 1000 sccm-AERA FCD985CT-BF
Gas line 2- C4F8 200 sccm-AERA FC-D985CT-BF
Gas line 3- Ar 2000 sccm-AERA FC-D985CT-BF
Gas line 4- O2 50 sccm-AERA FC-D985CT-BF
Gas line 5- CH2F2 30 sccm-AERA FC-D985CT-BF
Gas line 6- CHF3 200 sccm-AERA FC-D985CT-BF
Gas line 7- CF4 200 sccm-AERA FC-D985CT-BF
Gas line 8- C4F8 50 sccms-AERA FC-D985CT-BF
Gas line 9- C3F8 50 sccms-AERA FC-D985CT-BF
Gas line 10- C4F6 50 sccm-AERA FC-D985CT-BF
Gas line 11- O2 1000 sccm-AERA FC-D985CT-BF
Gas line 12- Ar 500 sccm-AERA FC-D985CT-BF
Purge: N2 (Process Grade N2)
Filter: CNF1004USG4 (Nihon Pall)
Regulator: SQMICRO (VERIFLO)
Filter (N2): CNF1004USG4 (Nihon Pall)
Valve: Primary side(Utility-MFC):Mega mini (FUJIKIN)
Valve: Secondary side(MFC-PC):Mega one (FUJIKIN)
Piping: Dual Piping (for Gas leak containment, Gas box to Final valve & Exhaust through
Gas box)
Gas Leak Detection Port: 5 Ports (6.35mm, Swagelok L-type)
Final Pressure Switch: 51A (MKS)
Pressure Gauge: Bourdon Gauge (with inside finishing)
Pressure Gauge: Bourdon Gauge (with inside finishing) 0.4MPa
SP3 Gas Line Connection: No
GBROR: GBROR
Process Kit Configuration:
WINDOW, SHIELD DEPO (DRM2) QUARTZ (ES1D05-400022-14)
WINDOW DEPO SAF0.5(DRM2) SAPPHIRE (ES1D10-406499-11)
SHIELD, UPPER 300MM RING – Quartz (ES3D05-250025-11)
Insulator, ESC Enclosure (COC) – Quartz (ES3D05-300142-13)
Cover Ring, 360- L (M) – Quartz (ES3D05-300243-11)
RING, BTM SHIELD Y-AL, SE (ES3D10-100844-11)
PLATE,EXHAUST Y-AL, SE (ES3D10-100845-11)
SHUTTER, BTM TYPE Y-AL, SE (ES3D10-101152-13)
SHIELD,DEPO (ES3D10-101195-11)
Focus Rg, 360-302-COC (ES3D10-201448-13)
Insulator, lower T32-BI-NC (ES3D10-202405-13)
WINDOW,DEPO CLP/Y2O3-100P(N) (ES3D10-350344-12)
SCREW PIN LOCK, Cerazol: Ceramic (ES3D10-404011-11)
Si Upper Electrode (ES3D10-253020-11)
CEL ASSY (ES3D87-052656-11)
ESC ASSY (with ceramic pusher pins) (ES3D87-002056-13)
Damage/Missing Parts:
Non reported, please reconfirm at tool inspection
Currently installed.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCMは、プリント基板（PCB）の製造に使用される表面実装・エッチング装置です。このデバイスは、PCBおよびコンポーネントの輸送用のコンベアベルトと、正確な位置決めのための電子ビジョンシステムを備えています。ドライフィルムフォトレジストと液体レジストの両方を高解像度で、複数の層で適用することができ、微細な表面配線が可能です。スルーホールコネクタ、はんだマスクなどの部品の後処理にも使用できます。TEL Telius SP 305 SCCMは、最大400mm/sの高速ウェーハ処理速度を備え、均一なブラインドおよび/またはパフォーマンスによる埋め込みのプロセス制御を備えています。また、精密エッチング制御用のマルチゾーンコントローラを備えており、複雑な形状の高精度エッチングとフライス加工を可能にします。このデバイスには、ビジョンアライメント、穴の識別、ショーツの除去などのさまざまな特殊機能も含まれています。TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305 SCCMには、TELBEANSのリアルタイムPCベースのシステムが搭載されており、ユーザーインターフェースの制御が容易です。また、エッチング回路基板の積み降ろしを容易にするためのユニバーサルステンシルシステムも含まれています。このデバイスは、正と負のトーンフォトレジストや液体レジストなど、さまざまなフォトレジスト材料とも互換性があります。このマシンは、連続動作用に設計されており、高スループットのために最適化されたホットエッジ設計を備えた加熱基板ローディングエリアを備えています。レーザーマーキング可能なカバーシートは、エッチング中に回路基板を保護し、時間と材料を節約します。直感的で使いやすいインターフェイスと機能のホストを備えたTelius SP 305 SCCMは、高品質の回路基板とコンポーネントの製造に最適なデバイスです。
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