中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy IRAD #293585847 を販売中
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ID: 293585847
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2008
Vertical LPCVD Furnace, 12"
Wafer production equipment
Process: MLD Nitride
CIM: SECS-GEM
KHI Handler system
(2) FOUP Factory interfaces
Operation system:
Gas detector box
Rapid Colling System (RCS)
Power box
208 VAC UPS
2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY IRADは、高度なリソグラフィー模様を多世代にわたってデザインされた、洗練されたエッチャー/アッシャーです。精密パターニングと優れたエッチング性能により、今日の半導体製造プロセスに見られるあらゆる種類の回路で信頼性と再現性の高い結果が得られます。TEL Indy IRADは堅牢なガス配送装置を備えており、エッチング剤の効率的かつ正確な配送を可能にし、高効率な使用を可能にします。これにより、信頼性と再現性の高いリソグラフィパターニングが保証され、プロセスの均一性が向上します。幅広い基材に対応できるように構成することができ、様々な素材を一気にエッチングする柔軟性を提供します。この包括的なエッチングソリューションは、シリコンやゲルマニウムなどの材料だけでなく、多くの誘電体や金属層を処理することができます。TOKYO ELECTRON INDY IRADは、指向性マッチングネットワークを備えたRF駆動フィールドをベースに、優れたイオンエッチングユニットを備えています。このネットワークにより、エッチング種の均一性とパッシベーション制御の制御が改善され、誤った場所でのエッチングのリスクが低減されます。最適なパフォーマンスと信頼性を確保するために、Indy IRADには高度な診断および監視機能も搭載されています。これらのツールを使用すると、プロセス条件を継続的かつ正確に監視してパラメータを調整し、エッチング結果を最適化できます。さらに、TEL/TOKYO ELECTRON INDY IRADの自動運転により、機械の操作とメンテナンスが容易になり、メンテナンスコストを削減できます。これにより、クリーニングや予防メンテナンスなどのタスクの時間を節約し、完全に自動化されたバッチ生産プロセスを可能にします。その結果、TEL Indy IRADは、高精度エッチングソリューションをお探しの企業にとって理想的な選択肢です。
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