中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #293643279 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-Lは、半導体製造装置の日本メーカーであるTELが開発したエッチャー/アッシャーです。磁性半導体材料や化合物半導体材料のエッチングや成膜に幅広く使用されています。TEL Indy-I-Lは、300mmまでの大型ウエハの均一なエッチングと成膜に幅広い機能を備えています。TOKYO ELECTRON Indy-I-Lは、革新的な技術を活用し、効率的で安定した均一な処理を実現します。可変温度RF（無線周波数）電源とレーザー干渉制御を含む先進技術を搭載し、均一なエッチングと蒸着、および反復可能で安定した結果を確保するための光学および地形フィードバック制御を保証します。さらに、スマートコントローラ機能により、エッチングおよび蒸着プロセスのカスタマイズと自動制御が可能になります。Indy-I-Lは大容量の1,200Lチャンバーを備えており、幅広いエッチング/成膜範囲を提供するように設計されています。50mA/m 2 RF電源で最大900°Cの温度、最大2.5kV DC（直流）バイアス電圧の処理が可能です。TEL/TOKYO ELECTRON INDY-I-Lは、希土類や重粒子、シリコン、チタン、アルミニウムなどの金属や、ガリウム、インジウムリン、アルミニウムなどの化合物半導体など、さまざまな材料をエッチングして堆積することができます。TEL Indy-I-Lは、業界をリードする45µ/minエッチング速度と、最大20nm/minの簡単に調整可能な蒸着速度を備えています。また、最大40個のウェハクラスタを複数取り扱うことで高い生産性を実現しています。TOKYO ELECTRON Indy-I-Lは、特殊な半導体アプリケーションから日常の家電製造まで、さまざまなエッチングおよび成膜アプリケーションに使用できます。Indy-I-Lはユーザーフレンドリーで、効率的な操作のために設計されています。直感的なユーザーインターフェイスと簡単なエッチング/蒸着制御機能により、簡単なセットアップとプロセスの正確な制御が可能です。また、自動停止機能により、エッチング/蒸着プロセスのコストを削減し、信頼性を向上させます。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-Lは、さまざまな用途に対応する幅広い材料の効率的で安定した均一なエッチング/成膜を提供するために設計された、強力で汎用性の高いエッチャー/アッシャーです。あらゆる半導体製造設備に最適な付加です。