中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #293622284 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 293622284
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
Vertical furnace, 12"
Process:
NH3
DCS
SiGe
C2H4
HF
20% F2 with N2
TiCl3 liquid
Operation panel
IO Unit
Exhaust box
Power box
Heater
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-Lは、半導体製造に使用される汎用性の高いエッチャー/アッシャーです。先端技術のパーフォレーションウィンドレスエッチング装置を使用し、高精度で高品質なエッチングとアッシングの結果を実現する、誘導結合プラズマベース（ICP）エッチャー/アッシャーです。TEL Indy-I-Lはパワフルで安定した高周波電源で、エッチング面に精密な電力を供給し、高い再現性を発揮します。この高精度電源制御により、低温ポリシリコンやコバルトなどの難加工材料のエッチングが可能です。また、反応室内の正常かつ安定した圧力を維持することができる高度な大気制御システムを備えています。チャンバーには圧力トランスデューサと圧力レギュレータの両方が装備されており、正確な圧力制御が可能です。また、TEL独自のRIE SPRON-H技術を搭載し、最高のエッチング速度とプロセス均一性を実現しています。この独自技術により、エッチング速度を最大40％向上させ、サイクルタイムの短縮と高い再現性を実現しました。Indy-I-Lのエッチングプロセスは、高度な自動レシピ管理ユニットによってさらに最適化されています。エッチングサイクルの段階ごとの精密なプロセス時間とエネルギーを提供することにより、結果として得られる製品がすべてのメーカーの仕様を満たすことを保証します。また、TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-Lは、変化する生産要件に柔軟に対応できるように設計されています。ユニットは、単一および複数のウェーハ負荷の両方に設定することができ、専用ハードウェアを迅速かつ簡単に変更して、異なるサイズの基板に対応することができます。TEL Indy-I-Lは、チップメーカーに信頼性と費用対効果を提供するよう設計されており、半導体製造にとって貴重なツールとなっています。高度な設計と高度な制御ツールにより、このユニットは信頼性が高く、一貫した高精度のエッチングとアッシングの結果を提供することができます。
まだレビューはありません