中古 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-HV #9190560 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONフォーミュラ-HVは、半同位性エッチング、異方性エッチング、超高アスペクト比ティアドロップエッチング、および銅（Cu）ピラーエッチングなどのプロセスにおいて、最も厳格な要件を満たすために設計された高性能なエッチング装置です。シングルウェーハパラレルプラズマエッチャー（または「アッシャー」）で、標準エッチングジョブからより高度なプロセスまで、スループットと拡張プロセスモジュールを向上させることができます。TEL Formula-HVは、革新的で効率的なプロセス技術を活用し、高品質で安定した反復可能なエッチプロファイルを実現します。システムの高度な制御機能は、非常に大きく非常に深いエッチングプロセスの要件を満たすために、複雑で高精度なエッチングを提供します。TOKYO ELECTRON Formula-HVで実現したエッチングの均一性は、業界最高レベルです。Formula-HVには複数のRFソースが装備されており、エッチング処理を特定のアプリケーションに合わせて行うことができます。これにより、従来のエッチングシステムよりも幅広いエッチングの可能性を提供する柔軟性を実現します。また、さまざまな調整パラメータを提供し、プラズマ、イオン、電極の電源を調整して最適な結果を得ることができます。TEL/TOKYO ELECTRON Formula-HVの洗練された自動化により、重要なアプリケーションに対する人間のオペレータの介入を排除します。深さとフィーチャープロファイルをエッチングするための非接触、再現性、正確なプロセス制御を可能にします。また、診断およびメンテナンスツールが強化されているため、ユーザーは資産を迅速かつ簡単にトラブルシューティングおよび維持することができます。TEL Formula-HVには、データ収集と分析、レシピ開発とプロセス最適化のための包括的なソフトウェアツールも付属しています。ブライトフィールドマスク（浅いエッチングに使用）やダークフィールドマスク（深いエッチングに使用）など、複数のエッチングマスクと互換性があります。アッシャーにはいくつかのシールドもあり、ユーザーは特定のアプリケーション用にモデルをカスタマイズすることができます。TOKYO ELECTRON Formula-HVは、高度で高性能で信頼性の高いエッチングです。高度なコントロール、幅広い調整パラメータ、柔軟性により、幅広いエッチングの可能性を提供します。洗練された自動化と包括的なソフトウェアスイートにより、ユーザーはプロセスを迅速かつ簡単に開発および最適化できます。