中古 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP-2055 VV #122877 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP-2055 VVは、エッチングとアッシングの高精度・高スループットを要求される用途向けに設計されたエッチャー/アッシャーです。SiO2やSiNなどの材料から金属、絶縁、半導体材料の異方性エッチングまで、幅広いサンプルに最適な装置です。金属/シリコン基板上のレジストのエッチング/アッシングも用途に合わせて行うことができます。TEL Telius SP-2055 VVは、多段ポンピングユニットを備えたガスフローシステムと、処理速度を上げるために調整できるガスボックスを備えています。持続精度の真空制御により、チャンバー内で最大4。41 mbarの13.9L/minまでの駆動速度を実現します。また、必要に応じて圧力レベルの調整を可能にする自動圧力制御（APC）マシンを備えています。このツールには、再生サイクル時間1〜9分の自動クリーニングターボ分子ポンプもあります。TOKYO ELECTRON Telius SP-2055 VVは、-40°Cの動作範囲と100°Cのウェーハ温度制限を備えた高度なウェーハ温度制御アセットを備えています。その改良された冷却モデルは、オペレータが必要に応じてエッチング処理時間を延長するためにチャンバーウォールの冷却速度を調整することができます。Telius SP-2055 VVはまた、タレットドアを開けずにサンプルホルダー上のウェーハの位置決めを可能にするロードロック装置を備えた精密エッチャー/アッシャーを備えています。ウェーハ交換時のサンプル汚染を防止するために行います。その広範囲のソフトウェアは、パラメータの設定と監視のための使いやすいユーザーインターフェイスを提供します。修復自動クリーニングシステムにより、セットアップ時間とサンプルの読み込み時間も短縮されます。TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP-2055 VVは、最高品質の高精度・高スループットを目指して設計されています。多段ポンプと調整可能な性能を備えたガスフローユニットと、決済精度の真空制御機を備えています。また、エッチング時間を延長するための改良されたウェハ温度制御ツールと冷却アセットを備えています。精密エッチャー/アッシャーには、ロードロックモデルと自動クリーニング装置、および自動設定と監視のための幅広いソフトウェアもあります。