中古 PLASMATHERM VLR 702-PM 770I-10R #9259208 を販売中

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ID: 9259208
ヴィンテージ: 1999
Dry etcher EBARA AA10N Dry pump Pumping speed: 1300 l/min TAITEC UC-70P Chiller Gases: CF4, CHF3, CI2, BCI3, O2, N2 Diameter of lower electrode, 10" EDWARDS STP-H803C Turbo pump 2CN-H803C Turbo controller VLR 700 VAT Gate valve Operating system: Windows NT Workstation 4.0 Power box Cabinet Power supply: 200 V, 50/60 Hz, 3 Phase 1999 vintage.
PLASMATHERM VLR 702-PM 770I-10Rは、大規模な産業用途において最適な性能を発揮するよう設計された高度なエッチャー/アッシャーです。10インチマニホールドトレイと7ジョブチャンバー装置を備えており、エッチングとアッシングプロセスを完全に制御できます。VLR 702-PMは± 0。5 µmという驚異的な精度を誇り、極めて精密なエッチング結果が得られます。さらに、ジョブトレイ全体の均一性は± 1。0 µmの精度で保証されています。VLR 702-PMには高度なプログラマブルコントローラが装備されており、最大16個のメモリストアを提供し、9つのレシピを提供しています。さらに、このコントローラは、電力、ガスの流れ、バイアス、およびその他のジョブ固有の設定など、エッチング/アッシングパラメータの簡単なセットアップと調整を可能にします。すべての設定と結果は、VLR 702-PMのグラフィカルユーザーインターフェイスを介してリアルタイムで監視できます。これらの機能に加えて、VLR 702-PMは、ユーザーとマシンを害から保護するために設計された洗練された安全システムを備えています。これには、蓋のロック機構、キーレストリガーロック、緊急停止ボタンが含まれており、すべてのエッチング/アッシングジョブで最大限の安全性を確保します。ソフトウェアとハードウェアは、エッチングとアッシングの品質とパフォーマンスを最大限に引き出すように最適化されています。VLR 702-PMには、高性能モーターと精密鍛造ステンレススチールノズルが装備されており、スモールギャップ領域全体に均一なプラズマ分布を保証します。コンピュータ制御の高精度ピエゾモジュレーターと調整可能なガスフィルターの両方が、アッシングプロセスに汚染物質を導入しないことを保証します。VLR 702-PMには、排気ユニットが内蔵されており、プロセス全体で排出されるエッチング/アッシングガスを収集して抽出します。これにより、危険物質の蓄積を防止し、ユーザーの安全性と全体的なユニット性能を促進します。全体として、VLR 702-PM 770I-10Rは、産業用エッチングおよびアッシング用途に優れた品質と性能を提供する高度なエッチャー/アッシャーです。このマシンは、優れた精度、優れた安全性、優れたユーザーの利便性を提供し、エッチング/アッシング作業が迅速かつ正確に完了することを保証します。
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