中古 MASTERETCH 635 #178487 を販売中

MASTERETCH 635は、フォトマスクから基板への高解像度パターン転送用に設計されたエッチャー/アッシャーです。これは、市場で最も信頼性が高く、正確で効率的な30-kWアッシャーシステムの1つです。この装置は、シリコン、ヒ素ガリウムおよびその他の金属、溶融シリカおよびダイヤモンド様炭素（DLC）などの様々な材料をエッチングおよびアッシングするために使用されます。振動のないエンクロージャを備えており、正確で反復可能なパターン転送を可能にします。このシステムには、高効率のウェーハステージと最大の歩留まりと生産スループットを可能にする調整可能な光源が含まれています。また、長寿命の光源と粒子のない環境を備えています。MaskCloudTM独自の技術により、基板をマスクし、優れた転送精度を提供し、635は0。1ミクロンの解像度でパターンを生成します。さらに、サブミクロンの登録精度を備えた高度な解像度制御も備えています。また、エッチング電圧、エッチング電流、エッチング時間、異方性エッチング角度など、複数のエッチングおよびアッシングパラメータを設定できます。さらに精度を高めるために、異方性エッチング角度を調整して線形エッチング解像度を向上させることもできます。MASTERETCH 635は、半導体およびマイクロエレクトロニクス業界の大量生産要件に最適です。その堅牢な設計、使いやすさ、精度は、他のエッチングマシンとは一線を画しています。さらに、プロセス監視機能により、エッチングプロセスのあらゆる部分で信頼性、品質、一貫性が保証されます。プロセスモニタリングは、リモートまたはセルフモニタリングで行うことができます。さらに、このツールは幅広い材料をサポートしており、独自の可変角度パターン転送オプションにより、パターン解像度を微調整できます。全体として、635は市場における主要なエッチングシステムの1つです。高精度、長寿命、直感的なインターフェイスにより、大量の生産要件に最適です。また、独自の機能により使いやすく設定が容易になり、ユーザーはエッチング資産から最大の歩留まりとパフォーマンスを得ることができます。