中古 LAM RESEARCH TCP 9600 #138939 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600は、半導体製造プロセスにおけるウェーハ、フォトマスク、基板、パッケージの製造用に設計されたエッチャー/アッシャーです。LAM RESEARCH TCP9600は、特定のプロセスパラメータを念頭に置いて設計されており、誘電体の高い均一性と均一性を必要とする最も困難な基板のために構築されています。TCP-9600は、より高いスループット、高品質のエッチング、およびより大きなプロセス制御を提供するように設計されています。LAM TCP9600エッチャー/アッシャーは、高度なRF最適化エッチング技術を備えた高性能ウェーハ処理チャンバで構築されています。TCP 9600チャンバは、一度に最大12個のウェーハを保持するサイズになっており、エッチングプロセスの選択性と均一性を正確に制御するために、調整可能なRFパワーと周波数を備えています。エッチャー/アッシャーはまた、臨界ガスへの潜在的な影響がないことを保証するために統合されたHFモジュールを備えています。LAM RESEARCH TCP-9600は、SEMI S2準拠規格に準拠して設計されており、完全にモジュール化されています。これにより、エッチャー/アッシャーの簡単な変更と構成が、お客様固有の要件を満たすことができます。LAM RESEARCH TCP 9600は、エッチングレートとエッジのプロファイルを最適化し、一貫性のある信頼性と再現性のある結果を得るために設計された独自のRF制御システムも備えています。チャンバーに供給されるRF周波数、パワーレベル、およびガスはすべて調整可能であり、ほとんどの材料の独立した最適化を可能にします。LAM RESEARCH TCP9600は、同期されたマルチガスモノプロセスを組み込み、精度を向上させるだけでなく、エッチング全体の時間を短縮します。最後に、TCP-9600エッチャー/アッシャーは、石英、ポリイミド、その他の誘電体などの材料を処理する際に、より高いエッチング率と高い選択性を可能にするように設計された高性能反射防止コーティング（ARC）モジュールを備えています。これにより、ARCコーティングが基板表面に均一に分布し、箔の品質が向上します。要約すると、TCP9600エッチャー/アッシャーは、ウェーハ、フォトマスク、基板、およびパッケージの製造用に構築された精密エッチングツールです。このユニットはSEMI S2準拠基準に従って構築されているため、性能と信頼性は曲げられていません。TCP 9600は、高度なRF制御システムと調整可能なパラメータを通じて、さまざまな基板および条件にわたって最適なエッチング速度と最適な均一性を提供します。