中古 LAM RESEARCH Exelan A6 #9093942 を販売中

LAM RESEARCH Exelan A6は、エッチングおよびアッシングプロセス用に設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。パワフルでモジュラー型の設計アーキテクチャで構築されているため、厳しい生産環境でも高性能で効率的な運用が可能です。Exelan A6は精密なエッチングとアッシング技術を利用して、最も精密な基板構造を作成することができます。このシステムは、低圧無線周波数プラズマチャンバーと高速コンベアを備えた、コスト効率の高いターボPECVD（プラズマ強化化学蒸着）ユニットで構成されています。このマシンは、より高精度に制御されたプロセス速度を可能にする高速ガス分布を備えています。LAM RESEARCH Exelan A6のプラズマチャンバー、RFジェネレーター、コントローラは、高効率のエッチングとアッシングプロセスを実現するように設計されています。チャンバーの容積は、大きな基板サイズと長いプロセス時間に対応するのに十分な大きさであり、大規模な生産に最適なツールです。Exelan A6はガスの流れ、圧力、温度、RF力および他のプロセスパラメータを正確に制御できる高度のオートメーションを支えます。このソフトウェアを使用すると、将来の処理に保存および再利用できる20個の独立したプロセスレシピを設定できます。これらの統合された自動化機能は、プロセスレシピを追跡し、プロセスを監視し、処理中に発生する可能性のある問題を診断する機能を提供します。統合されたクリーンルームとアイソレーションシステムにより、LAM RESEARCH Exelan A6はクリーンな環境で動作します。内蔵の安全機能と高度な診断機能により、アセットは緊急時に自動的にシャットダウンし、異常な圧力、過熱、電力障害などの問題を検出して報告することができます。Exelan A6は、エッチングおよびアッシングプロセスの製造に信頼性の高い効率的なプラットフォームを提供し、リソグラフィ、エンボス加工、真空プロセス、およびその他の関連プロセスとの統合を可能にします。最終的に、このモデルは、さまざまな産業向けのマイクロおよびナノサイズの基板構造を迅速かつ容易に処理することができます。