中古 LAM RESEARCH 9600CFE #9396017 を販売中

LAM RESEARCH 9600CFEは、最も複雑なデバイス設計を可能にする高精度のダイレベル（5µm）エッチングおよびイメージング機能を提供するエッチング/アッシャー装置です。LAM RESEARCH 9600 CFEは、設定可能なガス供給により、ウェットまたはドライプラズマエッチングを提供し、最大のプロセス制御と精度を実現します。9600CFEは、すべての主要な真空システムおよび計測ツールと完全に互換性があります。9600 CFEは、偏向係数が低い高分解能、精密エッチング用に設計されています。このシステムは、ディープコンタクトエッチング、浅いトレンチ分離、ナノスケール特徴パターン、細線パターン、3D構造の精密エッチングなど、さまざまなプロセス課題に使用できます。モジュラーチャンバー構成を備えており、シングルまたはマルチチャンバーエッチングアプリケーションを使用して効率を向上させます。LAM RESEARCH 9600CFEには、低場所プラズマ放電用の統合RFジェネレータも付属しており、プロセス制御が強化されています。LAM RESEARCH 9600 CFEの高度な自動化および制御システムは、高い生産性と正確性を保証します。マルチステーションのロボットウェーハ転送ポートを備えており、迅速な積み降ろしとオペレータの安全性の拡張機能を備えています。また、継続的に監視し、効率を最大化するための組み込み診断機能も備えています。9600CFEは、高度に最適化された予測プロセス制御を可能にする包括的なソフトウェアプログラムを提供します。このプログラムはWindowsと完全に互換性があり、お客様はユニットを簡単に制御し、進行状況を監視することができます。ユーザーフレンドリーなソフトウェアは、エッチパラメータを制御するプロセスを簡素化し、プログラムを保存、取得、編集する機能を提供します。9600 CFEは、最先端のデバイスエンジニアリングアプリケーションに最適な、信頼性と再現性の高いエッチャーマシンです。その小さなフットプリントと人間工学に基づいたデザインは、研究開発ラボ、産業用ファブ、半導体設備、大学など、さまざまな環境に最適です。柔軟な設定、高度なオートメーション、予測プロセス制御を備えたLAM RESEARCH 9600CFEは、エッチング精度と信頼性に最適です。