中古 LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX #293601041 を販売中
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販売された
ID: 293601041
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2017
Dielectric etcher, 12"
Seismic bracket TM
Weight dist plate TM
(3) Seismic brackets PM
(3) 2300 Flex DX
2300e4 Platform
2300 Process module
2300 Flex D Series option
(3) 4XX Series ESCs
(3) PM Facilities: Dual with temp monitor
(3) Flow meters: 10 GPM
(3) eDGF+ Gas feeds
Dual zone ESC Cooling flex
D Series
Heated foreline manometer
Top Pl Chamber manometer
Baffle
Lower isolation valve: Viton
Chemraz vacuum valve
Interconnect hardware:
Pump to TCU 100ft
TCU to PM 100ft
(3) Interconnect hardware: Pump to PM 100ft
EMO Cables:
(3) TCU to RPDB 50 ft
(3) Pump to RPDB 50 ft
2300 Flex D Series quick clean kit
2300 Gas box
2300 Flex D Series Jetstream
(3) Jetstream gas lines
(6) Heated gas lines
(51) HORIBA D519
(17) SST Facility interface boxes
(17) SST Facility interface boxes
UI Display with disp trans
(16) UI Display with disp trans
2300 Platform (E)
(3) Hermos carrier ID
Additional load port
(3) Corrosion resistant LPM
WIDS Btm read
RGV / OHT PIO Sensor
Conditioning station (7 Wafer)
AUX Buffer: 25 Slot
Vespel wafer finger
EDWARDS iXL
Vespel single sense
Advanced aligner
User Interface: Side and front monitor
System UPS circuitry
Internal UPS bypass with UPS
Earth leakage breaker
Cable: TM-Subpanel, 100 ft
Signal light tower, R-G-A Slim line
Light curtain
Input buffer corr res without Exh
Flow monitoring
System calibration and alignment
Service step for PM
Ionizer kit
ATM Duct interface
Robot CDM
Light tower buzzer
Metric to inch conv fittings
APCS
SVID and facility interface board
VTM Breakout board / cover
2nd TM Pump standard with EQ
2300 Peripheral
(3) Non-qual 2-Channel TCU
Gateway communication
2300 Ship ahead
Standard ship ahead item
2300 Additional enhancement
Standard process quality
Standard training
Wafer flow tuning
APC Recipe tuning host
2nd HSMS
NSR 8423, Hardware firewall
EDA2
NSRL 1000
Generator: 60 MHz
2017 vintage.
LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DXは、高精度のマイクロストラクチャーを作成するように設計された高度なハイスループットエッチャー/アッシャーです。このエッチャー/アッシャーは、エッチング機能の広い範囲を備えており、エッチング基板の非常に詳細かつ正確な層を生成することができます。この装置は、シリコンや化合物半導体などの材料を容易に処理するための先端技術を利用しています。2300e4 Exelan Flex DXは高速スキャンメカニズムを備えており、高倍率光学システムを使用して大型ターゲットを素早くスキャンすることができます。また、最新のレーザー技術を搭載し、エッチング時の高精度・高精度を実現しています。また、エッチャー/アッシャーにはカスタマイズされたエッチレシピが用意されており、非常に特定の構造を作り出すために使用することができます。これにより、ユーザーは簡単にさまざまな構造を簡単に製造することができます。このマシンは、プロセスの再現性と最適化の高いレベルを保証する強化されたプロセス制御も提供します。LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DXには、エッチング機能のほかに、最適な性能と長い機械寿命を保証する高度な冷却システムも搭載されています。また、プログラマブルロジックコントローラ（PLC）も備えており、お客様は正確なニーズに応じてツールパラメータを調整できます。この資産には、緊急停止ボタンやインターロックなどのいくつかの安全機能もあり、事故のリスクを低減します。また、メンテナンス機能やサービス機能が組み込まれているため、機器を最適なレベルで簡単に機能させることができます。結論として、2300e4 Exelan Flex DXは、エッチング基板の非常に詳細で正確な層を生成することができる高度なエッチャー/アッシャーです。カスタマイズされたエッチレシピ、高度な冷却システム、高度な安全機能を備えているため、産業および研究用途向けの信頼性と信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。
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