中古 LAM RESEARCH 4240 #146147 を販売中

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LAM RESEARCH 4240
販売された
ID: 146147
ウェーハサイズ: 8"
Poly etchers, 8", de-installed.
LAM RESEARCH 4240 Asherは、高度な半導体生産環境のために特別に設計された画期的なエッチングソリューションです。優れた処理パラメータにより、4240はより細かい形状、より高い歩留まり、および大幅に改善されたスループットを達成する能力を備えています。LAM RESEARCH 4240は、優れたエッチング結果を得るために様々な技術を活用しています。これらには、独自に温度制御された排気とチャンバー、ウェーハ全体の均一性を確保するための内部安定剤、およびアクティブなサーマルクリーニングが含まれます。これにより、機器は臨界寸法(CD)や誘電故障などの重要なパラメータに妥協することなく、極端なエッチング速度に達することができます。4240システムは、高度な3ゾーンコイル配送ユニットを使用しています。このマシンは、より高いエッチング速度でも、ウェーハ全体にわたって一定の異方性と均一性を保証します。さらに、このコイル搬送ツールは、エッチングプロセスが一貫して効率的であるように、チャンバー全体にわたって均一な温度制御を容易にします。これにより、誘電体の故障を軽減し、ポストプロセスのチューニングの必要性を最小限に抑えることができます。LAM RESEARCH 4240はまた、精密なエッチング結果を保証するために多くの高度なコントローラを使用しています。これらには、PID温度コントローラ、アダプティブ周波数コントローラ、および高度な圧力密度コントローラが含まれます。このアセットはまた、自動バイパスプロセスを使用してスループットを最大化し、誘電体の故障を防止します。全体として、4240 Asherは非常に強力なエッチングソリューションで、高度な半導体製造に最適です。その高度な機能と優れたプロセスパラメータにより、非常に細かい形状と高い収率を達成できます。さらに、堅牢なコントローラと3ゾーンコイルデリバリーモデルにより、ウェハ全体の均一性が確保され、高度なバイパスプロセスによりスループットが向上し、ポストプロセスチューニングの必要性が最小限に抑えられます。
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