中古 BRANSON / IPC MU 2112-40-24S #179077 を販売中

BRANSON/IPC MU 2112-40-24Sエッチャーアッシャーは、信頼性が高く、効率的で費用対効果の高いエッチングおよびアッシングソリューションで、ラボや産業用設定に最適です。24インチのエッチングチャンバーと40インチのアッシングチャンバーを備えたシングルウェハーマシンです。エッチャーアッシャーは、強力なマグネトロンと自動化されたパルスDC電源を組み合わせ、エッチングおよびアッシングプロセスを正確に制御できます。これにより、両工程の優れた均一性と均一性を実現します。IPC MU 2112-40-24Sはまた、安全で責任ある操作のために、低粒子生成と最小限の環境負荷を備えています。BRANSON MU 2112-40-24Sは、高速で再現性の高い操作のために設計されています。PLCベースの制御プラットフォーム、高度な通信インターフェイス、自動診断、および効率的なプログラミング、監視、パフォーマンスの最適化のためのユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスが装備されています。また、高度なダイレクトエッチング技術とO2アッシング技術を採用し、エッチング時の均一な成膜を確保しながら、アッシング性能を向上させます。エッチャーアッシャーは、安全性と最適な性能を確保するために、多数の断熱材を備えた高品質のステンレス鋼で構成されています。エッチングチャンバーには、可動式クォーツロック（Q-LOCK）ウィンドウと高度なECR駆動プラズマソースが取り付けられています。自動フードで保護されたウィンドウは、粒子レベルを保持し、汚染を最小限に抑え、プロセス時間を短縮するように設計されています。オートフードには、簡単でワンステップのサンプル配置と検索のためのQロックウィンドウも装備されています。安全機能により、安全で信頼性の高い操作が保証されます。モジュール式の乾側空冷システムが付属しており、チャンバーの温度を予めプログラムされたセットポイント以下に保ちます。エンクロージャはまた、複数レベルのロックアウトシステムで設計されており、すべての従業員が危険な場所から離れていることを保証します。さらに、デュアルバリア化学保護が組み込まれており、すべてのプロセス化学物質がオペレータから分離されることを保証します。MU 2112-40-24Sエッチャーアッシャーは、最新技術の精度、再現性、安全性の要件を満たすことができるソリューションを必要とするエッチングおよびアッシングアプリケーションのための効率的で信頼性の高いツールです。自動化された機能、高度なコンポーネント、安全機能により、ラボや産業用の設定に最適です。