中古 AXCELIS / FUSION RapidStrip 320 #9254126 を販売中

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ID: 9254126
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Stripper / Asher, 12" 2007 vintage.
AXCELIS/FUSION RapidStrip 320は、半導体製造業界の高速生産用に設計された高度なエッチング/灰プロセスモジュールです。このツールは、高度な技術漏洩および誘電緩和要件を満たすために、毎分120 Angstromsおよび低温灰プロセスの急速なシリコンエッチング速度を提供します。FUSION RapidStrip 320は、優れたエッチングの均一性と再現性を保証するSmartStripプロセス制御アルゴリズムや、1時間に最大500ウェーハの高スループット生産モジュールなど、多くの機能を備えています。デュアル極性プラズマボックスにより、フルオロカーボン、フルオロシラン、フルオロボラン化学などのあらゆる種類のエッチング剤の処理が可能になり、最大のアップタイムと機器の使用を保証します。AXCELIS RapidStrip 320はまた、手動研削、研磨、めっき工程の必要を排除し、基板の高精度エッチングとアッシングを保証する化学機械研磨(CMP)システムを使用しています。その高度なエッチング制御技術は、エッチング速度を制御する前に、プラズマ電力、流量、基板材料の種類などの要因を組み合わせています。これにより、すべてのステップが正確に、一貫して、最小限の不一致で実行されるようになります。これらの機能は、揮発性有機化合物(VOC)排出量を削減するクリーンゾーンのコンセプトなど、高度な安全性と環境制御と相まっています。RapidStrip 320はまた、プラズマの清浄度を継続的に監視し、粒子の汚染を最小限に抑えるためのリアルタイム調整を提供する高精細プラズマ診断システム(PDQ)を採用しています。高度な技術とユーザーフレンドリーなインターフェースを備えたAXCELIS/FUSION RapidStrip 320は、厳しい運用基準を備えた高複雑性基板の効率的な生産に理想的なシステムです。
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