中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #148644 を販売中

ID: 148644
CVD system.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200は、先進的な半導体ウェーハ製造用に設計されたエピタキシャルリアクターです。世界最小のトランジスタや、優れた速度と性能を持つトランジスタの製造に適しています。AMAT Centura 5200はデュアルポケットプロセスチャンバーであり、より大きなチャンバーを備えており、高いスルーパットとより小さなチャンバーを提供し、より高い精度を提供します。高度な自動ローディングおよびローディング保持装置により、クリーンな環境で効率的で信頼性の高い生産プロセスが保証されます。この原子炉には、優れたイオン注入およびエッチング処理が可能な重いイオン源が装備されています。また、MAXCの均一性システム、最高の基板の均一性を確保するためにプロセス用量を測定する4つの高度なセンサのクラスタが含まれています。アプライドマテリアルズCentura 5200のイオン源と均一性ユニットは、MESA Advanced Plasma Sourceによって供給されます。これにより、エッチング速度、一貫した電力、優れたプロセス安定性、および幅広い速度とプロセスレシピでの均一性が得られます。Centura 5200は、高度なトラックマシン技術と統合することもできます。この高度なツールは、比類のない精度と精度で、ウェーハを転送するためのロボットアームを備えています。この資産は、事前に割り当てられたレシピや生産速度に関係なく、スムーズな運用を提供します。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200はエネルギー効率に優れた原子炉であり、品質や速度を犠牲にすることなく事前設定されたレシピからエネルギーを節約できます。キャリブレーションフリーチャンバー温度制御と高貴なガス精製モデルを備えており、どちらも優れた結果を保証しますAMAT Centura 5200は環境規制にも準拠しており、リモート診断による簡単なメンテナンスとサービスが付属しており、顧客の要件を満たすようにカスタマイズすることができます。APPLIED MATERIALS Centura 5200は、優れた速度と性能、汎用性の高い負荷システム、高精度、および幅広いプロセス制御を備えた先進的な半導体ウェーハ製造炉です。最新の半導体製造ニーズに最適です。
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