中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293615044 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enablerは、効率的で費用対効果の高い統合デバイス製造（IDM）生産を可能にするように設計された高度な処理炉です。これは、プラズマ損傷レベルを大幅に低減しながら、高スループットと基板ボリュームを提供するために最適化されたマルチチャンバーシステムです。この原子炉は、熱酸化、窒化物の堆積、低k誘電体の堆積、フォトマスクエッチングなど、さまざまなプロセス技術の拡張をサポートするように設計されています。メインチャンバー、ロードロック、トランスファーチャンバーの3つの主要コンポーネントで構成されています。メインチャンバーには精密無線周波数（RF）発電機が装備されており、AC磁場と相まって、優れたプロセス制御と均一性を実現します。AMAT Centura Enablerは、0。02 Torrから760 Torrまでの幅広い圧力で動作できます。さらに、複数の基板冷却および加熱ステージを備えており、熱アニールおよび冷却プロセスを可能にします。これにより、より高速な熱処理が可能となり、制御された温度を提供することによって堆積膜の均一性を最大化します。APPLIED MATERIALTS Centura Enablerの統合ロードロックは、より大きなウェーハの取り扱いを可能にし、ヘリウムジャケットのコールドフィンガー技術によって冷却されます。これにより、スループットが高速化され、基板の均一性が向上します。ロードロックの環境絶縁により、効率的な動作が保証され、汚染のない基板がCentura Enablerにロードされます。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enablerは、洗練されたトランスファーチャンバーも備えています。このチャンバーは、正確な基板処理を支援し、3軸ロボットで動作します。さらに、トランスファーチャンバーはメインチャンバーから分離されているため、優れた汚染制御とプロセスの再現性を提供します。全体として、AMAT Centura Enablerは高品質のIDM生産を大幅に削減する強力な原子炉です。さまざまな先進技術を搭載し、優れた性能、生産性、均一性を提供します。APPLIED MATERIALS Centura Enablerは、IDMの生産に最適な強力なツールです。
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