中古 RUDOLPH FE 4 #9128266 を販売中

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RUDOLPH FE 4
販売された
製造業者
RUDOLPH
モデル
FE 4
ID: 9128266
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1995
Film thickness measurement system, 8" 1995 vintage.
RUDOLPH FE 4は、薄膜の膜厚と光学定数を測定するために設計された最先端の自動測定装置で、幅広い斜めおよびs偏光角度構成を備えています。FE 4は、0。001nmの高精度で動作できる、高速で信頼性の高い膜厚と光学定数測定ツールです。高度なハードウェアおよびソフトウェア技術を使用して高い精度を実現し、ユーザーは薄い層を迅速かつ正確に測定できます。RUDOLPH FE 4は、高精度の圧電角度スキャナを搭載した4460複合3インチ楕円セルを採用し、広角測定範囲を確保しています。この構成により、あらゆるサイズ、形状、向きの基板上の薄膜を測定できるため、柔軟性が大幅に向上します。また、アングルスキャン範囲により、複雑な曲面基板上の薄い層を測定する際にも高い精度が得られます。FE 4ユニットは、直感的で使いやすいPCソフトウェアパッケージによって制御され、各レイヤーに事前に定義された測定プロトコルを備えています。このソフトウェアは、1ナノメートル以下の厚さの薄膜を含むあらゆる厚さの薄膜を測定することができます。また、薄膜が均質であるかどうかを決定することもできます。この機械には高度な偏光変調技術が搭載されているため、数ミリ秒以内に光学定数と膜厚の両方を決定することができます。これは、光学定数と単一のスキャンで膜厚を決定するために特別に設計された2つの専用測定システムを備えています。RUDOLPH FE 4には、リアルタイムでデータを再計算できる高度なデータ処理ソフトウェアが組み込まれています。この再計算プロセスでは、塵、湿度、温度などの環境変化による測定誤差、およびフィルムスタックの光学的欠陥による誤差が考慮されます。これにより、データの損失を防ぎ、測定の信頼性を向上させます。結論として、FE 4は効率的で信頼性が高く、多目的な膜厚と光定量測定ツールです。幅広い角度測定範囲、高度なデータ処理ソフトウェア、複雑な基板上の膜厚測定機能を提供します。これらの機能により、RUDOLPH FE 4はあらゆる膜厚測定タスクに最適です。
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