中古 THERMCO 4100 #9046507 を販売中

THERMCO 4100は、半導体業界のアニール用途向けに設計された拡散炉およびアクセサリ機器です。特許取得済みの拡散雰囲気と精密な熱制御を利用して優れた結果を生み出す高効率で信頼性の高いアニーリングシステムです。4100は、直径150mmまでのドープとアンデープの両方を処理できる大気制御アニーリングユニットです。400°C〜900°Cの幅広い温度範囲で効率的なシリコンウェーハ加工に最適です。それは急速な熱アニーリング、イオン注入のアニーリング、毛布拡散のアニーリング、impingingプラズマのアニーリングおよび高真空のアニーリングを含むフルレンジのプロセスウィンドウを特色にします。THERMCO 4100は、部屋の環境を継続的に監視する自動大気制御ツールを備えており、大気の正確な制御を可能にします。この大気制御により、アニーリングチャンバー内の適切な組成、純度、圧力が保証されます。この急速かつ精密な温度制御は、制御され再現可能なアニーリング結果に不可欠です。4100はまた、ウェーハの効率的な積み下ろしを提供する「ロードロック」チャンバーを備えています。このプロセスは、任意の汚染物質がチャンバーに入るのを防ぎ、プロセス結果の完全性を確保します。THERMCO 4100には、高精度で信頼性の高い温度および圧力制御資産も含まれています。これには、タイトな温度制御用のPID温度コントローラと、正確なエンドポイント加圧用の圧力レギュレータが含まれます。また、水晶モニターを内蔵し、リアルタイムのウェーハ温度測定と最適な熱性能を保証します。全体として、4100は精密な熱制御と効率的なウェーハ処理により、半導体業界にとって理想的なアニーリングモデルです。モジュラー設計により、他の互換性のあるプロセスツールと容易に統合できます。ユーザーフレンドリーなプログラミングコントローラにより、優れた温度制御、プロセスの均一性、再現性を提供します。自動化された大気制御装置とロードロック装置は、クリーンで一貫した処理環境を確保します。THERMCO 4100は、異質で反復可能なアニーリング結果を達成するための理想的なソリューションです。