中古 TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615 #108347 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615は、リソグラフィーフィルムマスクの製造に使用される拡散炉です。様々な厚さとサイズの高解像度フィルムを正常に製造するために使用することができます。TEL VCF-615は、高速加熱パッド、ホットウォール式電気抵抗暖房、高温制御環境を備えています。その部屋はステンレス鋼の組み立てられ、熱損失および放射を最小にします。さらに、その上部および下部のサセプターは、石英基板で構成されているため、熱伝達を最大化します。この拡散炉は、シングルステージ、2ステージ（前後）、3ステージの温度制御という3つのモードで動作します。シングルステージモードでは、最高温度は500〜625℃の間で調整され、炉は単一の温度ステップで動作します。2段階の温度制御の間に、2つのサセプターのそれぞれは独立して制御され、より高い温度安定性を可能にします。最後に、3段階の温度制御は2つの連続した温度ステップの重複を可能にし、非常に精密な温度制御を生じさせます。また、自動ドア脱着機能を備えた東京エレクトロンVCF-615では、ワーク搬送時に素早くシングルモーション開閉が可能です。VCF-615には、いくつかの安全機能も装備されています。その濃縮熱はアルミナマッフルを介して拡散され、潜在的に危険な熱放射を防ぎながら、熱損失を削減します。また、緊急時には非常冷却システムが組み込まれ、チャンバーを適切な温度に冷却します。また、TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615はオプションの水冷シュラウドを採用し、優れた温度均一性を確保しています。結論として、TEL VCF-615拡散炉は、精密な温度制御、高速加熱システム、多種多様な安全機能を備えたリソグラフィックフィルムマスクの製造に最適です。様々な厚さやサイズの高解像度フィルムを製造することができ、様々な用途に最適です。