中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus #9096371 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plusは、微細加工プロセスに役立つエッチャー/アッシャーです。それはTELによって製造され、非常に精密で、有効な用具です。TEL TELINDY Plusは、高精度のエッチングとアッシング装置で設計されています。このシステムには、正確なウェーハアライメントと基板モーションコントロール、および統合基板温度制御が含まれます。これにより、エッチング処理が正確かつ正確であることが保証されます。このマシンは、さまざまなウエハサイズを扱うことができるチャンバー容量を持っています。自動化された基板処理を可能にし、効率的なエッチングを保証する特別なオートコントロール機能を備えています。また、パーティクルフィルターユニットを備えており、チャンバーとウェーハ表面から微粒子を確実に除去することができます。また、東京エレクトロンテリンディプラスには、エッチングやアッシング処理を行う前にウェーハを洗浄するための前処理機が内蔵されています。また、過酸化水素配達ツールを備えており、チャンバー内の過酸化水素溶液を提供し、すすぎます。これは、プロセスが安全で効率的であることを保証するのに役立ちます。TELINDY Plusには、高精度タイマーや自動リモートコントロールドライブ資産など、エッチングとアッシングのプロセスを支援するための他のいくつかの機能もあります。機械にプログラムすることができる多種多様なエッチレシピがあり、そのソフトウェアにはガス圧力と電流の正しい量だけが各プロセスで使用されることを保証するための安全チェックが組み込まれています。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plusは高品質で信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。ウェーハ処理のための効率的で精密なモデルを提供し、優れた安全機能を備え、プロセスを支援するためのさまざまな設定と機能を備えています。微細加工プロセスにとって非常に貴重なツールであり、高品質で信頼性の高い最終製品を生産するのに役立ちます。