中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY B #9014197 を販売中
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販売された
ID: 9014197
ウェーハサイズ: 12"
Vertical diffusion furnaces, 12"
Base unit for DCS HTO process
Includes:
Cabinets / units / controllers included
Furnace cabinet (including ultra-clean air flow system)
Scavenger and water cooling unit
Power supply unit (U/P box)
(Includes control unit, transformers, SCR, and breaker unit)
Main controller (WAVES)
Temperature controller
FOUP and wafer handling automation included
FOUP load port
FOUP transfer
18 FOUP stocker
FIMS port
KHI wafer load automation
Variable pitch change mechanism (w/5 fork)
Auto tube shutter
Boat elevator w/ boat rotation mechanism
Mid temp heater: VMM-56-002 1 Included
Includes outer/inner T/C
Integrated gas system for DCS HTO 1 Included
N2O gas stick 1 stick Included
DSC gas stick 1 stick Included
Purge N2
Vacuum vent
Exhaust vent
Piping tape heater
PAC (Pre Activation Chamber)
Vacuum foreline configurations
Stainless steel manifold
80A foreline piping
Foreline heater
APC main valve
Vacuum gauge & pressure switch
US safety (S2-0302, S8-0999)
Quartzware set for DCS HTO 1 Included
(Including x2 of 75 slots Ladder Boat)
System options:
N2 Load lock option 1 Included
- O2 analyzer - NGK SH-302
- O2 consumption rate controller
Dual boat operation 1 Included
N2 boat cooling shower 1 Included
Fixture for start up and maintenance 1 Included
Final valve unit 1 Included
NH3 coating capability
Hi-temp capacity (<850°C)
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Bは、アッシャーとも呼ばれるエッチャーの一種です。真空システム、プロセスソースユニット、プロセスユニットからなる半導体・太陽電池デバイス製造装置です。電子ビーム技術と専用のソフトウェアマシンを使用して、均一性と精度の両方でエッチング処理を制御します。エッチャーは、真空アセット、プロセスソースモデル、およびプロセスユニットの3つの主要なコンポーネントに依存しています。真空装置は、チャンバーから空気とガスを取り出し、その中心となるターボ分子ポンプです。一方、プロセスソースシステムは、マスフローコントローラ、圧力コントローラ、マルチガス穴あきチューブの統合ネットワークを介してアクセスされるプラズマソースガスを供給する上で重要な役割を果たしています。最後に、プロセスユニットは、応用ガス圧力、流量、パワー、およびユニットのタイミングを制御することにより、チャンバー内のエッチングプロセスを提供します。TEL TELINDY Bエッチャーは、電子ビーム蒸発器によるエッチング工程内での高精度な制御が可能です。このビームは、厚さ制御で薄膜源の蒸発を制御するために使用され、また、選択的にプレートをコートする能力を持っています。エッチャーはまた、ウェーハCD（臨界寸法）測定機を使用してエッチングするための多くのプロセスレイヤーを配置することができます。東京電子TELINDY Bエッチャーは、さまざまな基板の均一性を調節する優れた温度制御機能も備えています。このエッチャーの付加的な利点の1つは、オペレータがエッチング工程をニーズに合わせて調整するために、チャンバー圧力、冷却ガス圧力、ガス流量などのプロセスパラメータを利用できることです。最後に、エッチャーには直感的なソフトウェアツールが装備されているため、エッチングプロセスを最適化し、多くのタスクを自動化することができます。これにより、オペレータはさまざまなプロセスパラメータを調整しやすくなり、エッチング処理の結果が一貫して正確であることを確認できます。全体的に、TELINDY Bはエッチング工程の精度と制御を保証する電子ビーム蒸発器を備えた高度なエッチャーです。オペレータはプロセスパラメータを使用してエッチングプロセスをニーズに合わせて調整でき、直感的なソフトウェアアセットは特定のタスクの使いやすさと自動化を保証します。
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