中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #93399 を販売中
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販売された
ID: 93399
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2004
Nitride LPCVD furnace, 8"
170 wafer slots
Tool Specific Information:
Heater Part No: VMM-40-101
Software Version: Ver3.11 R005 WAVE
System Power Rating: 110AC One Phase / 208 AC
Loading Configuration: 6 Loader
Main System:
WAVES Controller
Photohelic Gauge
Boat Elevator
Wafer Load Automation
21 Cassette Stocker
Temperature Controller (M560)
Furnace Monitor, Power Control Unit
Remote Utility&Gas Cabinet
Inner T/C for Ration Mix
Auto Shutter
Gas System (NH3, DCS)
Options:
Signal Tower
Pitch Change Mechanism
UPS
GEM Communication
N2 Load Lock Ambient Control:
Quartz ware
Load size 170 wafers
Load lock purge system
Process gas: NH3, DCS
Gas Type - Convention Gas System
Tubing material - Stainless steel
Tubing Finish - Electro-polish
Manual valve - FUJIKIN
Fitting Type - VCR/UJR
Air-Operated valve - FUJIKIN
Filter - MILLIPORE
Regulator - VERIFLO
MFC - AERA
Pressure transducer - MILLIPORE or NAGANO
Remote Components:
Utility Box Power Rating: 110/208AC
Pump Power Rating: 208AC-3 (Not Included)
UPS Power Rating: 110AC-1
MFCs Summary
MFC_NB (N2) 10sLm
MFC_NR (Pure-N2) 50sccm
MFC_NX (Pure-N2) 20sLm
MFC_NY1 (Pure-N2) 200sccm
MFC_NY2 (Pure-N2) 200sccm
MFC_N1 (Pure-N2) 5sLm
MFC_N2 (Pure-N2) 5sLm
MFC_M1 (NH3) 2sLm
MFC_D1 (SiH2Cl2) 200sccm
MFM_M1 (Pure-N2) 2sLm
MFM_D1 (Pure-N2) 200sccm
Packing List:
Power-Box
UPS
Main-Body
Gas-Box
Heater
O2 Analyzer
Vacuum Exhaust Pipe
Cables
Top Heater Frame
Filter Fan
Gas-Box Door
EXT IN Unit
Gas-Box Exhaust Support
Backend Pipings
Scavenger Flexible Duct
Accessories 2 white boxes + 1 wafer container
N2-LL Pipings Tray
(Qty 3) Cable Trays
Loading Area Cover
Backend Support/ Cover
(Qty 5) Heater Panels
Main-Valve
Crated in a warehouse
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRONアルファ8SE拡散炉とアクセサリーは、半導体研究所向けに設計された工業用グレードの加熱装置とアクセサリパッケージです。この拡散炉とその部品は、ドーパント除去、アニーリング、基板堆積などの高温半導体加工のための手頃な価格で信頼性の高いソリューションを提供します。TEL ALPHA-8SEシステムには8インチのロードロックチャンバーが装備されており、炉の高速かつ一貫した前工程および後工程の負荷を可能にします。また、quartzwareキャリア、ロードウェアキャリア、および最大限の利便性のための基板ローダーが装備されています。内蔵の冷却ファンは、一貫した温度を維持するのに役立ち、プロセスからプロセスへの信頼性と一貫したパフォーマンスを保証します。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SEは直径8インチまでのウェーハ加工が可能で、あらゆるサイズの半導体ラボに最適です。内蔵のアクティブクローズループ温度制御により、精度、柔軟性、再現性が保証されます。このユニットはまた、プログラミングを簡素化し、一貫した結果を保証するメニューコントロールのソフトウェアプログラムを備えています。TEL ALPHA 8S-E拡散炉とその付属品は、高品質の材料で構成されており、さまざまな半導体材料および蒸着プロセスとの互換性を確保しています。シリコン、ヒ素ガリウム、ダイヤモンドテンプレートはすべて機械で処理できます。堅牢な構造と設計により、最も過酷な実験環境でも堅牢で信頼性が高くなります。どの半導体研究室においても、信頼できる結果を得るためには一貫した品質が不可欠です。TEL Alpha 8SE拡散炉とその付属品により、ユーザーは品質とスループットの両方の面で、印象的で反復可能な結果を達成することができます。これは、厳格な半導体加工の要求を満たすために、シンプルで簡単なソリューションを提供します。
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